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机构
上海微系统与信息技术... [3]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
学位论文 [2]
期刊论文 [1]
发表日期
2010 [1]
2004 [2]
学科主题
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浏览/检索结果:
共3条,第1-3条
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MEMS器件圆片级芯片尺寸封装研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2010
曹毓涵
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浏览/下载:57/0
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提交时间:2012/03/06
MEMS谐振器
圆片级封装
TSV
Cu/Sn键合
真空气密封装
微小差分电容检测技术的研究
期刊论文
OAI收割
测试技术学报, 2004, 期号: 03
朱武
;
张佳民
;
熊斌
;
车录锋
;
王跃林
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/01/06
芯片键合
等温凝固
Cu/Sn体系
微结构
Cu/Sn等温凝固键合在MEMS气密封装中的应用研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2004
杜茂华
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2012/03/06
芯片键合
气密封装
等温凝固
Cu/Sn体系