机构

• 近代物理研究所 [12]
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采集方式

• OAI收割 [18]
• iSwitch采集 [1]

内容类型

• 期刊论文 [14]
• 会议论文 [5]

发表日期

• 2017 [1]
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学科主题

• Materials ... [1]
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浏览/检索结果: 共19条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Research on External Electron Injection Technology in ECRIS 期刊论文  OAI收割 Nuclear Physics Review, 2017, 卷号: 34, 页码: 164-169 作者:  Zhao HY(赵环昱);  Tang C(唐城);  Qian C(钱程);  Sun LT(孙良亭)   |  收藏  |   Status of Plasma Spectroscopy Method for CNS Hyper-ECR Ion Source at RIKEN 会议论文  OAI收割 作者:  Muto, Hideshi;  Ohshiro, Yukimitsu;  Yamaka, Shoichi;  Watanabe, Shin-ichi;  Oyaizu, Michihiro   |  收藏  |   Microwave Impedance Matching of A 2.45 GHz ECR Ion Source 期刊论文  OAI收割 Nuclear Physics Review, 2013, 卷号: 30, 页码: 32-37 作者:  Qian Cheng;  Chen Zhi;  Ma Hongyi;  Wu Qi;  Zhang Wenhui   |  收藏  |   Overview of the Shanghai EBIT 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF INSTRUMENTATION, 2010, 卷号: 5, 页码: 10 作者:  Fu, Y.;  Yao, K.;  Wei, B.;  Lu, D.;  Hutton, R.   |  收藏  |   Role of bias frequency in a dual electron cyclotron resonance-radio-frequency hybrid plasma 期刊论文  OAI收割 VACUUM, 2009, 卷号: 84, 页码: 348-351 作者:  Wang, L.;  Ke, B.;  Ni, T. L.;  Ding, F.;  Chen, M. D.   |  收藏  |   Effects of Substrate Temperature on the Growth of Polycrystalline Si Films Deposited with SiH(4)+Ar 期刊论文  OAI收割 Journal of Materials Science & Technology, 2009, 卷号: 25, 期号: 4, 页码: 489-491 H. Cheng; A. M. Wu; J. Q. Xiao; N. L. Shi; L. S. Wen 收藏  |   Deposition of dense and smooth Ti films using ECR plasma-assisted magnetron sputtering 期刊论文  OAI收割 SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY, 2009, 卷号: 203, 期号: 22, 页码: 3356-3360 作者:  Zhang, L;  Shi, LQ;  He, ZJ;  Zhang, B;  Lu, YF 收藏  |   Effect of Ar on Polycrystalline Si Films Deposited by ECR-PECVD using SiH4 期刊论文  OAI收割 Journal of Materials Science & Technology, 2008, 卷号: 24, 期号: 5, 页码: 690-692 H. Cheng; A. M. Wu; N. L. Shi; L. S. Wen 收藏  |   Production of EUV power with SECRAL 会议论文  OAI收割 作者:  Zhao, Huan-Yu;  Zhao, Hong-Wei;  Sun, Liang-Ting;  Zhang, Xue-Zhen   |  收藏  |   Production of EUV power with SECRAL 会议论文  OAI收割 作者:     |  收藏  |