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上海微系统与信息技术... [3]
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OAI收割 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2000 [2]
1999 [1]
学科主题
Instrument... [1]
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Physics, A... [1]
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Structural and electrical characteristics of oxygen-implanted 6H-SiC
期刊论文
OAI收割
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2000, 卷号: 169, 页码: 1-5
Wang, LW
;
Huang, JP
;
Duo, XZ
;
Song, ZT
;
Lin, CL
;
Zetterling, CM
;
Ostling, M
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提交时间:2012/03/24
ENHANCED THERMAL-OXIDATION
SILICON-CARBIDE
ION-IMPLANTATION
AMORPHIZATION
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Investigation of damage behaviour and isolation effect of n-type 6H-SiC by implantation of oxygen
期刊论文
OAI收割
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2000, 卷号: 33, 期号: 12, 页码: 1551-1555
Wang, LW
;
Huang, JP
;
Duo, XZ
;
Song, ZT
;
Lin, CL
;
Zetterling, CM
;
Ostling, M
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提交时间:2012/03/24
ENHANCED THERMAL-OXIDATION
ION-IMPLANTATION
SILICON-CARBIDE
AMORPHIZATION
LAYERS
A study of optical characteristics of damage in oxygen-implanted 6H-SiC
期刊论文
OAI收割
JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS, 1999, 卷号: 18, 期号: 12, 页码: 979-982
Wang,LW
;
Huang,JP
;
Lin,CL
;
Zou,SC
;
Zheng,YX
;
Wang,XJ
;
Huang,DM
;
Zetterling,CM
;
Ostling,M
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提交时间:2012/03/25
ENHANCED THERMAL-OXIDATION
SILICON-CARBIDE
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