机构

• 苏州纳米技术与纳米仿... [2]
• 光电技术研究所 [1]
• 半导体研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [3]
• 会议论文 [1]

发表日期

• 2018 [1]
• 2015 [1]
• 2014 [1]
• 2011 [1]

学科主题

• 微电子学 [1]

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Surface micromachined MEMS deformable mirror based on hexagonal parallel-plate electrostatic actuator 会议论文  OAI收割 Dalian, PEOPLES R CHINADalian, PEOPLES R CHINA, OCT 26-29, 2017OCT 26-29, 2017 作者:  Ma, Wenying;  Ma, Changwei;  Wang, Weimin   |  收藏  |   Micro-electro-mechanical systems capacitive ultrasonic transducer with a higher electromechanical coupling coefficient 期刊论文  OAI收割 Micro & Nano Letters, 2015, 卷号: 10, 期号: 10, 页码: 4 作者:  Miao, J(苗静);  Shen, WJ(沈文江);  He, CD;  Xue, CY;  Xiong, JJ 收藏  |   Surface acoustic waves in semi-insulating Fe-doped GaN films grown by hydride vapor phase epitaxy 期刊论文  OAI收割 APPLIED PHYSICS LETTERS, 2014, 卷号: 105, 期号: 6 作者:  Zhang YM(张育民) 收藏  |   Fabrication and characterisation of polysilicon-based clamped-clamped filter 期刊论文  OAI收割 key engineering materials, 2011, 卷号: 483, 页码: 112-116 Zhao, Yongmei; Ning, Jin; Han, Guowei; Si, Chaowei 收藏  |