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机构
半导体研究所 [2]
物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [2]
iSwitch采集 [1]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2006 [2]
2001 [1]
学科主题
半导体材料 [1]
筛选
浏览/检索结果:
共3条,第1-3条
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Morphological defects and uniformity issues of 4h-sic homoepitaxial layers grown on off-oriented (0001)si faces
期刊论文
iSwitch采集
Materials science in semiconductor processing, 2006, 卷号: 9, 期号: 1-3, 页码: 275-278
作者:
Sun, G. S.
;
Liu, X. F.
;
Gong, Q. C.
;
Wang, L.
;
Zhao, W. S.
收藏
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提交时间:2019/05/12
4h-sic
Homoepitaxial layers
Surface morphological defect
Optical microscopy
Morphological defects and uniformity issues of 4H-SiC homoepitaxial layers grown on off-oriented (0001)Si faces
期刊论文
OAI收割
materials science in semiconductor processing, 2006, 卷号: 9, 期号: 1-3, 页码: 275-278
Sun GS (Sun G. S.)
;
Liu XF (Liu X. F.)
;
Gong QC (Gong Q. C.)
;
Wang L (Wang L.)
;
Zhao WS (Zhao W. S.)
;
Li JY (Li J. Y.)
;
Zeng YP (Zeng Y. P.)
;
Li JM (Li J. M.)
收藏
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浏览/下载:54/0
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提交时间:2010/04/11
4H-SiC
homoepitaxial layers
surface morphological defect
optical microscopy
SILICON-CARBIDE
DISLOCATIONS
FILMS
N-plasma assisted molecular beam epitaxy of GaN(000(1)over-bar) thin films on 6H-SiC(000(1)over-bar)
期刊论文
OAI收割
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS, 2001, 卷号: 40, 期号: 6B, 页码: 4388
Xue, QZ
;
Xue, QK
;
Kuwano, S
;
Nakayama, K
;
Sakurai, T
收藏
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2013/09/24
HOMOEPITAXIAL GROWTH
6H-SIC(0001) SURFACE
GAN
MORPHOLOGY
GAN(0001)
SUBSTRATE
POLARITY
RECONSTRUCTIONS
HYDROGEN
LAYERS