机构

• 电子学研究所 [2]
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• 微电子研究所 [1]
• 上海微系统与信息技术... [1]
• 近代物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [6]

内容类型

• 学位论文 [3]
• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2009 [1]
• 2003 [1]
• 2000 [2]
• 1999 [1]
• 1995 [1]

学科主题

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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 用于半导体探测器研制的数字影像显微系统 期刊论文  OAI收割 核电子学与探测技术, 2009, 卷号: 2009, 期号: 05, 页码: 945-949 韩励想; 李占奎; 靳根明; 王柱生; 肖国青   |  收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2010/10/29 半导体探测器ic制造技术  平面工艺  显微镜  数码相机   非接触式IC卡天线的集成化研究及芯片设计 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2003 倪昊   收藏  |  浏览/下载：59/0  |  提交时间：2012/03/06 非接触式:8990  芯片设计:3002  IC卡系统:2192  集成天线:1274  射频接口:1199  集成化设计:857  工艺线:768  防冲突:599  循环冗余校验:550  信息技术研究:540     微结构热电偶微波功率计设计与制造 学位论文  OAI收割 硕士, 中国科学院电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2000 张雨燕 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2011/07/19 微波功率计  热电偶  微梁  IC工艺   微结构热电偶微波功率计设计与制造 学位论文  OAI收割 硕士, 中国科学院电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2000 张雨燕 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2011/07/19 微波功率计  热电偶  微梁  IC工艺   切割曝光技术及其在器件研究上的应用 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 1999, 卷号: 20, 期号: 7, 页码: 6,624_629 作者:  陈焕章;  海潮和   |  收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2010/05/25 Ic  切割曝光技术  制造工艺   微电子机械系统中的压电薄膜微马达 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 1995, 期号: 04, 页码: 1-6 作者:  梁静秋 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2013/03/11 压电薄膜微马达  广义瑞利波  IC工艺  微型机械