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• 期刊论文 [6]
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发表日期

• 2013 [1]
• 2012 [2]
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浏览/检索结果: 共11条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 二维阵列狭缝阿达玛光谱仪波长准确度研究 期刊论文  OAI收割 光谱学与光谱分析, 2013, 期号: 01, 页码: 241-245 作者:  吴一辉;  迟明波;  郝鹏 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2014/03/07 阿达玛光谱仪  二维阵列狭缝  波长准确度  MEMS工艺   压电驱动MEMS光学扫描镜的研制 期刊论文  OAI收割 纳米技术与精密工程, 2012, 卷号: 10, 期号: 5 作者:  王敏锐;  李文翔 收藏  |  浏览/下载：43/0  |  提交时间：2013/01/22 MEMS  光学扫描  微镜  体硅工艺  压电陶瓷  微装配   三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2012, 期号: 10, 页码: 790-794+814 蔡梅妮; 车录锋; 林友玲; 周晓峰; 黎晓林; 吴健 收藏  |  浏览/下载：68/0  |  提交时间：2013/02/22 三明治式MEMS加速度计  自停止腐蚀工艺  吸气剂  品质因子  器件级真空封装   基于多掩膜光刻工艺的MEMS体硅加工 期刊论文  OAI收割 功能材料与器件学报, 2011, 期号: 03 黄占喜; 吴亚明; 李四华 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2012/04/13 MEMS  光刻  多掩膜  体硅工艺   基于聚酰亚胺的温湿压集成传感器 会议论文  OAI收割 中国仪器仪表学会第六届青年学术会议, 2004 武宇; 赵湛; 方震; 张博军 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2010/09/04 集成传感器  MEMS  聚酰亚胺  湿度  温度  压力  加工工艺   片上集成MEMS射频滤波器 会议论文  OAI收割 第11届全国敏感元件与传感器学术会议, 2009 吴争争; 顾磊; 李昕欣 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/01/18 硅集成电路 射频滤波器 MEMS工艺 片上系统   用于离子迁移率谱仪的MEMS表面离化源研究 学位论文  OAI收割 博士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2007 郭会勇 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2011/07/19 离子迁移率谱仪  表面离化  MEMS工艺  有限元方法  含氮有机物   用于气体检测的氧化钒微测辐射热计研究 学位论文  OAI收割 博士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2007 王利霞 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2011/07/19 氧化钒  微测辐射热计  红外气体传感器  MEMS工艺   用于气体检测的氧化钒微测辐射热计研究 学位论文  OAI收割 博士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2007 王利霞 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2011/07/19 氧化钒  微测辐射热计  红外气体传感器  MEMS工艺   基于法布里珀罗微腔阵列的光读出红外热成像器件设计与制作 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2004, 期号: 10 冯飞; 焦继伟; 熊斌; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2012/01/06 高量程MEMS加速度计  胶粘工艺  圆片级封装