机构

• 电子学研究所 [3]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 学位论文 [2]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2014 [1]
• 2013 [1]
• 2003 [1]

学科主题

• 传感器 [2]

筛选

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 静电激励-电容检测谐振式MEMS气压传感器研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2014 焦海龙 收藏  |  浏览/下载：79/0  |  提交时间：2014/06/14 MEMS  气压传感器  静电激励  谐振器  气压仪表   谐振式MEMS压力传感器圆片级真空封装研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院大学, 2013 曹明威 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2013/06/08 MEMS气压传感器  “H”型谐振梁  差分检测  圆片级真空封装  阳极键合   探空集成传感器设计 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2003, 卷号: 40, 期号: 7, 页码: 583-586 武宇，方震，赵湛，陈超，张博军 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2010/09/02 集成传感器 MEMS 导热检测法 湿度 气压