机构

• 上海微系统与信息技术... [5]
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• 半导体研究所 [1]
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采集方式

• OAI收割 [10]

内容类型

• 期刊论文 [8]
• 学位论文 [2]

发表日期

• 2016 [1]
• 2015 [2]
• 2012 [4]
• 2011 [1]
• 2009 [1]
• 2008 [1]
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学科主题

• 半导体器件 [1]
• 微电子学 [1]

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浏览/检索结果: 共10条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于洛伦兹力的MEMS大位移驱动器及其应用研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2016 吕兴东 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2016/06/02 MEMS驱动器  洛伦兹力  折叠梁  大位移  可变光衰减器  射频开关   MEMS静电驱动器的场致电子发射效应研究 期刊论文  OAI收割 半导体光电, 2015, 卷号: 36, 期号: 6, 页码: 925-929+935 作者:  汪为民,王强,邱传凯等 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/11/22 MEMS  静电驱动器  场致电子发射  场增强因子  名义发射面积  可靠性   基于静电平行板驱动器的MEMS变形镜特性分析 期刊论文  OAI收割 半导体光电, 2015, 卷号: 36, 期号: 5, 页码: 704-707 作者:  汪为民,王强,邱传凯等 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2016/11/22 MEMS  静电平行板驱动器  变形镜  弹性系数   基于MEMS技术的可调谐光滤波器及相位调制器研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2012 翟雷应 收藏  |  浏览/下载：74/0  |  提交时间：2013/04/24 MEMS  Fabry-Perot腔可调滤波器  光纤相位调制器  无交叠垂直梳齿驱动器   新型静电驱动双向平动MEMS变形镜（英文） 期刊论文  OAI收割 纳米技术与精密工程, 2012, 卷号: 10, 期号: 4, 页码: 313-317 作者:  姚军;  陶逢刚;  任豪等 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2016/11/22 双向平动  MEMS  变形镜  杠杆驱动器   基于MEMS微镜的可调光学衰减器 期刊论文  OAI收割 光电子.激光, 2012, 期号: 12, 页码: 2287-2291 刘英明; 徐静; 钟少龙; 翟雷应; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：57/0  |  提交时间：2013/02/22 可调光衰减器(VOA)  微光机电系统(MEMS)  微镜  垂直梳齿驱动器   无交叠垂直梳齿平动微镜的驱动特性 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2012, 期号: 8, 页码: 1772-1781 翟雷应; 徐静; 钟少龙; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2013/02/22 微机电系统(MEMS)  光相位调制器  无交叠垂直梳齿驱动器  平动微镜  保角变换法  静电驱动   基于MEMS技术的SU-8仿昆虫微扑翼飞行器设计及制作 期刊论文  OAI收割 机器人, 2011, 卷号: 33, 期号: 3, 页码: 366-370 作者:  迟鹏程;  张卫平;  陈文元;  李洪谊;  孟坤 收藏  |  浏览/下载：53/0  |  提交时间：2012/05/29 微扑翼飞行器  SU-  MEMS  仿生机器人  光刻胶  双翅目昆虫  压电驱动器  结构设计  结构材料  仿生学原理   带Turbo码的OFDM频域链路自适应方案 期刊论文  OAI收割 华东理工大学学报(自然科学版), 2009, 期号: 01 邱赐云; 戎璐; 俞文琰 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/01/06 MEMS  梳齿驱动器  侧向稳定性  预弯曲梁   CFD-ACE+软件对PCR微芯片传热过程的数值模拟和分析 期刊论文  OAI收割 科技信息(科学教研), 2008, 期号: 15 陈飞; 王为术; 李具峰; 邹志青; 金庆辉; 赵建龙 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/01/06 梳齿驱动器  侧向稳定性  MEMS