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机构
上海微系统与信息技术... [3]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2008 [1]
2006 [1]
1998 [1]
学科主题
Applied [1]
Coatings &... [1]
Engineerin... [1]
Materials ... [1]
Nuclear Sc... [1]
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共3条,第1-3条
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Research on metastable electron traps in the modified SOI materials induced by Si ion implantation
期刊论文
OAI收割
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A, 2008, 卷号: 26, 期号: 2, 页码: L1-L4
Zhang, EX
;
Yu, ZS
;
Cao, YG
;
Yang, H
;
Zhang, ZX
;
Wang, X
收藏
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浏览/下载:42/0
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提交时间:2011/11/04
SIMOX BURIED OXIDES
RAY PHOTOELECTRON-SPECTROSCOPY
RADIATION RESPONSE
OXYGEN
INSULATOR
A study on the total-dose response for modified silicon-on-insulator materials with the pseudo-MOS method
期刊论文
OAI收割
SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2006, 卷号: 21, 期号: 3, 页码: 287-290
Zhang, EX
;
Sun, JY
;
Zhang, ZX
;
Qian, C
;
Jiang, J
;
Wang, X
;
En, YF
;
Luo, HW
;
Shi, Q
;
Zhang, XW
收藏
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浏览/下载:50/0
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提交时间:2012/03/24
SIMOX BURIED OXIDES
RAY PHOTOELECTRON-SPECTROSCOPY
OXYGEN IMPLANT
DEFECTS
A-SIO2
A modification of formulas used in SOI capacitors analysis and its application in total dose radiation
期刊论文
OAI收割
RADIATION EFFECTS AND DEFECTS IN SOLIDS, 1998, 卷号: 145, 期号: 4, 页码: 307-317
Gao, JX
;
Yu, XF
;
Zhang, M
;
Lin, CL
;
Yan, RL
收藏
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提交时间:2012/03/25
SIMOX BURIED OXIDES
SILICON-ON-INSULATOR
OXYGEN
IMPLANT
DEVICES