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机构
半导体研究所 [2]
力学研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
期刊论文 [2]
会议论文 [1]
发表日期
2008 [1]
2003 [2]
学科主题
半导体材料 [1]
半导体物理 [1]
筛选
浏览/检索结果:
共3条,第1-3条
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Progress In Modeling Of Fluid Flows In Crystal Growth Processes
期刊论文
OAI收割
Progress In Natural Science, 2008, 页码: 1465-1473
作者:
Chen QS(陈启生)
;
Jiang YN(姜燕妮)
;
Yan JY(颜君毅)
;
Qin M(秦明)
;
Chen QS(陈启生)
收藏
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浏览/下载:737/52
  |  
提交时间:2009/08/03
Modeling
Crystal Growth
Fluid Flow
Czochralski Growth
Ammonothermal Growth
Physical Vapor Transport
Transverse Magnetic-Field
Physical-Vapor Transport
Sic-Bulk Growth
Silicon Czochralski Furnace
Thermal-Capillary Analysis
Radiative Heat-Transfer
Sublimation Growth
Numerical-Simulation
Ammonothermal Growth
Oxygen Distribution
Effects and numerical analysis of argon gas flow on the oxygen concentration in Czochralski silicon single crystal growth
会议论文
OAI收割
iumrs/icem 2002 conference, xian, peoples r china, jun 10-14, 2002
Zhang ZC
;
Ren BY
;
Chen YH
;
Yang SY
;
Wang ZG
收藏
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浏览/下载:41/0
  |  
提交时间:2010/11/15
Czochralski method
growth from melt
semiconductor silicon
argon gas flow
computer simulation
oxygen content
FURNACE PRESSURE
Effects and numerical analysis of argon gas flow on the oxygen concentration in Czochralski silicon single crystal growth
期刊论文
OAI收割
microelectronic engineering, 2003, 卷号: 66, 期号: 1-4, 页码: 504-509
Zhang ZC
;
Ren BY
;
Chen YH
;
Yang SY
;
Wang ZG
收藏
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浏览/下载:51/0
  |  
提交时间:2010/08/12
Czochralski method
growth from melt
semiconductor silicon
argon gas flow
computer simulation
oxygen content
FURNACE PRESSURE