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机构
上海应用物理研究所 [2]
半导体研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [2]
iSwitch采集 [1]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2008 [1]
2005 [1]
2004 [1]
学科主题
Chemistry [1]
Physics [1]
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浏览/检索结果:
共3条,第1-3条
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Promoting strain relaxation of si0.72ge0.28 film on si (100) substrate by inserting a low-temperature ge islands layer in uhvcvd
期刊论文
iSwitch采集
Applied surface science, 2008, 卷号: 255, 期号: 5, 页码: 2660-2664
作者:
Zhou, Zhiwen
;
Cai, Zhimeng
;
Li, Cheng
;
Lai, Hongkai
;
Chen, Songyan
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2019/05/12
Relaxed buffer
Sige film
Lt-ge layer
Strain relaxation
Uhvcvd
Investigation of strain-relaxed SiGe thin film grown on ion-implanted Si compliant substrate
期刊论文
OAI收割
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2005, 卷号: 239, 期号: 4, 页码: 433
Chen, CC
;
Yu, BH
;
Liu, JF
;
Cao, JQ(曹建清)
;
Zhu, DZ(朱德彰)
;
Liu, ZH
收藏
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2012/05/03
strain relaxation
UHVCVD
ion implantation
SiGe
Effect of ion dose on growth of relaxed SiGe layer on ion implantation Si substrate
期刊论文
OAI收割
JOURNAL OF RARE EARTHS, 2004, 卷号: 22, 页码: 26
Chen, CC(陈长春)
;
Liu, ZH
;
Huang, WT
;
Dou, WZ
;
Xiong, XY
;
Zhang, W(张伟)
;
Peihsin, T
;
Cao, JQ(曹建清)
收藏
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提交时间:2012/05/11
strain relaxation
UHVCVD
ion implantation
SiGe