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半导体研究所 [3]
金属研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [3]
iSwitch采集 [1]
内容类型
会议论文 [2]
期刊论文 [2]
发表日期
2012 [1]
2003 [3]
学科主题
半导体材料 [1]
半导体物理 [1]
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浏览/检索结果:
共4条,第1-4条
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脱氮热导法测定钛中氩
会议论文
OAI收割
2012国际冶金及材料分析测试学术报告会(CCATM2012), 北京, 2012-10-31
朱跃进
;
朱瑛才
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浏览/下载:34/0
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提交时间:2013/08/21
nitrogen-removing thermal conductivity
argon in titanium
argon content
argon releasing
Effects and numerical analysis of argon gas flow on the oxygen concentration in czochralski silicon single crystal growth
期刊论文
iSwitch采集
Microelectronic engineering, 2003, 卷号: 66, 期号: 1-4, 页码: 504-509
作者:
Zhang, ZC
;
Ren, BY
;
Chen, YH
;
Yang, SY
;
Wang, ZG
收藏
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浏览/下载:48/0
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提交时间:2019/05/12
Czochralski method
Growth from melt
Semiconductor silicon
Argon gas flow
Computer simulation
Oxygen content
Effects and numerical analysis of argon gas flow on the oxygen concentration in Czochralski silicon single crystal growth
会议论文
OAI收割
iumrs/icem 2002 conference, xian, peoples r china, jun 10-14, 2002
Zhang ZC
;
Ren BY
;
Chen YH
;
Yang SY
;
Wang ZG
收藏
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浏览/下载:44/0
  |  
提交时间:2010/11/15
Czochralski method
growth from melt
semiconductor silicon
argon gas flow
computer simulation
oxygen content
FURNACE PRESSURE
Effects and numerical analysis of argon gas flow on the oxygen concentration in Czochralski silicon single crystal growth
期刊论文
OAI收割
microelectronic engineering, 2003, 卷号: 66, 期号: 1-4, 页码: 504-509
Zhang ZC
;
Ren BY
;
Chen YH
;
Yang SY
;
Wang ZG
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浏览/下载:55/0
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提交时间:2010/08/12
Czochralski method
growth from melt
semiconductor silicon
argon gas flow
computer simulation
oxygen content
FURNACE PRESSURE