机构

• 沈阳自动化研究所 [3]
• 自动化研究所 [2]

采集方式

• OAI收割 [5]

内容类型

• 会议论文 [3]
• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2023 [1]
• 2020 [1]
• 2015 [1]
• 2010 [1]
• 2008 [1]

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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Scheduling a Single-Arm Multi-Cluster Tool With a Condition-Based Cleaning Operation 期刊论文  OAI收割 IEEE/CAA Journal of Automatica Sinica, 2023, 卷号: 10, 期号: 10, 页码: 1965-1983 作者:  Qinghua Zhu;  Hongpeng Li;  Cong Wang;  Yan Hou   |  收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2023/09/07 Chamber cleaning  multi-cluster tools  scheduling  semiconductor manufacturing   Scheduling Dual-Arm Cluster Tools With Multiple Wafer Types and Residency Time Constraints 期刊论文  OAI收割 IEEE/CAA Journal of Automatica Sinica, 2020, 卷号: 7, 期号: 3, 页码: 776-789 作者:  Jipeng Wang;  Hesuan Hu;  Chunrong Pan;  Yuan Zhou;  Liang Li   |  收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2021/03/11 Cluster tools  multiple wafer types  scheduling  semiconductor manufacturing  wafer fabrication   Scheduling method for single-arm multi-cluster tools with residency time constraints 会议论文  OAI收割 2015 IEEE International Conference on Cyber Technology in Automation, Control, and Intelligent Systems (CYBER), Shenyang, China, June 8-12, 2015 作者:  Hu JT(胡静涛);  Li, Linying 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2016/03/12 semiconductor manufacutory  multiple-cluster tools  residency time cosntraints  buffer/process mudules  single-arm robot  scheduling analysis   A General Throughput Model for Parallel Cluster tools 会议论文  OAI收割 Yangzhou, CHINA, Augest 20-22, 2010 作者:  Hu JT(胡静涛);  Zheng XH(郑秀红);  Yu HB(于海斌)   |  收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2019/02/09 parallel  cluster tools  throughput  model  timing diagram   Scheduling Single-Blade Cluster Tools with Time Window Constraints 会议论文  OAI收割 20th Chinese Control and Decision Conference, Yantai, China, July 2-4, 2008 作者:  Li LY(李林瑛);  Hu JT(胡静涛) 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/06/06 Cluster Tools  Scheduling  Time Window Constraints