机构

• 光电技术研究所 [1]
• 沈阳自动化研究所 [1]
• 上海技术物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2019 [1]
• 2006 [1]
• 2004 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Plasmonic Interference Lithography for Low-Cost Fabrication of Dense Lines with Sub-50 nm Half-Pitch 期刊论文  OAI收割 ACS Applied Nano Materials, 2019, 卷号: 2, 期号: 1, 页码: 489-496 作者:  Kong, Weijie;  Luo, Yunfei;  Zhao, Chengwei;  Liu, Ling;  Gao, Ping   |  收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2021/05/06 interference lithography  surface plasmonic  optical waveguide  near-field  diffraction limit  super resolution  nanomanufacturing  subwavelength optics   Subsurface Damage Measurement in Silicon Wafers with Cross-Polarisation Confocal Microscopy 期刊论文  OAI收割 International Journal of Nanomanufacturing, 2006, 卷号: 1, 期号: 2, 页码: 272-282 - 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2016/06/05 cross-polarisation confocal microscopy  grinding  manufacturing  damage measurement  nondestructive evaluation  NDE  silicon wafers  subsurface damage  SSD  semiconductor devices  nanomanufacturing   Dielectrophoretic batch fabrication of bundled carbon nanotube thermal sensors 期刊论文  OAI收割 IEEE Transactions on Nanotechnology, 2004, 卷号: 3, 期号: 3, 页码: 395- 403 作者:  Fung, C.K.M.;  Wong, V.T.S.;  Chan, R.H.M.;  Li WJ(李文荣) 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2012/05/29 AC electrophoretic manipulation  carbon nanotube (CNT)  CNT sensors  nano batch fabrication  nanomanufacturing