机构

• 云南天文台 [1]
• 上海光学精密机械研究... [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2016 [1]
• 2007 [1]

学科主题

• 天文学 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 1m红外太阳望远镜镜面位置误差致光轴偏移分析 期刊论文  OAI收割 红外技术(Infrared Technology), 2016, 卷号: 38, 期号: 10, 页码: 870-876 作者:  董雪岩;  许方宇;  陈骥;  罗永芳 收藏  |  浏览/下载：60/0  |  提交时间：2017/01/12 红外望远镜(infrared telescope)  光学装调(optical system assembly and alignment)  光轴偏移(optic axis deviation)  像质(image quality)  弯沉(deflection)  灵敏度矩阵(sensitivity matrix)   一种检测光刻机激光干涉仪测量系统非正交性的新方法 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2007, 卷号: 34, 期号: 8, 页码: 1130, 1135 何乐; 王向朝; 马明英; 施伟杰; 王帆 收藏  |  浏览/下载：1088/168  |  提交时间：2009/09/18 测量  measurement  激光干涉仪  interferometer  非正交性  non-orthogonality  光学对准  optic alignment  工件台  wafer stage  光刻机  lithographic tool