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• 自动化研究所 [1]
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• OAI收割 [2]

内容类型

• 会议论文 [1]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2014 [1]
• 2009 [1]

学科主题

• 天文技术与方法::自... [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Theoretical analyses for the relationship between the performance of quadrant photodetector and the size of incident light spot 会议论文  OAI收割 Montréal, Quebec, Canada, 2014-6-22 作者:  Sijiong Zhang;  Changwei Li;  Zhaoying Zheng 收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2015/03/13 quadrant photodetector  sensitivity  measurement range  adaptive optics   Control Strategy for a Low Cost Manipulator to Transport and Align IC Mask-Plates 期刊论文  OAI收割 IEEE TRANSACTIONS ON CONTROL SYSTEMS TECHNOLOGY, 2009, 卷号: 17, 期号: 5, 页码: 1018-1027 作者:  Xu, De;  Tan, Min;  Liu, Yun;  Wang, Jianhua 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2015/08/12 Alignment  control system  four-quadrant photodetector (FQPD)  hybrid control  integrated-circuit (IC) optical lithography  manipulator