机构

• 自动化研究所 [2]
• 半导体研究所 [2]
• 上海技术物理研究所 [1]
• 软件研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [5]
• iSwitch采集 [1]

内容类型

• 期刊论文 [6]

发表日期

• 2023 [1]
• 2020 [1]
• 2013 [1]
• 2006 [1]
• 2000 [2]

学科主题

• 半导体器件 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Scheduling a Single-Arm Multi-Cluster Tool With a Condition-Based Cleaning Operation 期刊论文  OAI收割 IEEE/CAA Journal of Automatica Sinica, 2023, 卷号: 10, 期号: 10, 页码: 1965-1983 作者:  Qinghua Zhu;  Hongpeng Li;  Cong Wang;  Yan Hou   |  收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2023/09/07 Chamber cleaning  multi-cluster tools  scheduling  semiconductor manufacturing   Scheduling Dual-Arm Cluster Tools With Multiple Wafer Types and Residency Time Constraints 期刊论文  OAI收割 IEEE/CAA Journal of Automatica Sinica, 2020, 卷号: 7, 期号: 3, 页码: 776-789 作者:  Jipeng Wang;  Hesuan Hu;  Chunrong Pan;  Yuan Zhou;  Liang Li   |  收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2021/03/11 Cluster tools  multiple wafer types  scheduling  semiconductor manufacturing  wafer fabrication   ANFIS and SA Based Approach to Prediction, Scheduling, and Performance Evaluation for Semiconductor Wafer Fabrication 期刊论文  OAI收割 CHINESE JOURNAL OF ELECTRONICS, 2013, 卷号: 22, 期号: 1, 页码: 25-30 Cao Zhengcai; Zhao Huidan; Wang Yongji   |  收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2014/12/16 Semiconductor manufacturing system  Scheduling  Adaptive neuro-fuzzy inference system  Simulated annealing algorithm   Subsurface Damage Measurement in Silicon Wafers with Cross-Polarisation Confocal Microscopy 期刊论文  OAI收割 International Journal of Nanomanufacturing, 2006, 卷号: 1, 期号: 2, 页码: 272-282 - 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2016/06/05 cross-polarisation confocal microscopy  grinding  manufacturing  damage measurement  nondestructive evaluation  NDE  silicon wafers  subsurface damage  SSD  semiconductor devices  nanomanufacturing   Modeling and optimization of semiconductor manufacturing process with neural networks 期刊论文  OAI收割 chinese journal of electronics, 2000, 卷号: 9, 期号: 1, 页码: 1-5 Wang SJ; Chen YM; Wang XD; Li ZZ; Shi LC 收藏  |  浏览/下载：68/0  |  提交时间：2010/08/12 feedforward neural networks  optimization  radial basis function  semiconductor manufacturing   Modeling and optimization of semiconductor manufacturing process with neural networks 期刊论文  iSwitch采集 Chinese journal of electronics, 2000, 卷号: 9, 期号: 1, 页码: 1-5 作者:  Wang, SJ;  Chen, YM;  Wang, XD;  Li, ZZ;  Shi, LC 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2019/05/12 Feedforward neural networks  Optimization  Radial basis function  Semiconductor manufacturing