机构

• 上海光学精密机械研究... [3]
• 中国科学院大学 [2]
• 长春应用化学研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [4]
• iSwitch采集 [2]

内容类型

• 期刊论文 [6]

发表日期

• 2012 [1]
• 2011 [1]
• 2010 [1]
• 2009 [1]
• 2007 [2]

学科主题

• 光电子技术 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Selective etching characteristics of the AgInSbTe phase change film in laser thermal lithography 期刊论文  OAI收割 applied physics a: materials science & processing, 2012, 卷号: 107, 期号: 1, 页码: 221-225 Li H(李豪); Geng YY(耿永友); Wu YQ(吴谊群) 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2013/09/09 thermal lithography  AgInSbTe   Selective Wet-etching of Ge2Sb2Te5 Phase-change Thin Films in Thermal Lithography with Tetramethylammonium 期刊论文  OAI收割 applied physics a: materials science &processing, 2011, 期号: 104, 页码: 1091-1097 Deng CM(邓常猛) 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2012/04/24 Ge2Sb2Te5 film  selective wet etching  tetramethylammonium  thermal lithography   Layered organic-inorganic hybrid perovskites: structure, optical properties, film preparation, patterning and templating engineering 期刊论文  OAI收割 crystengcomm, 2010, 卷号: 12, 期号: 10, 页码: 2646-2662 Cheng ZY; Lin J 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2012/04/25 SOLID-STATE POLYMERIZATION  CRYSTAL-STRUCTURE  MAGNETIC-PROPERTIES  QUANTUM-WELL  THIN-FILMS  SUPERLATTICE STRUCTURE  THERMAL-PROPERTIES  PHASE-TRANSITIONS  SOFT LITHOGRAPHY  ENERGY-TRANSFER   一种新型聚合物微透镜阵列的制造技术 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2009, 卷号: 36, 期号: 11, 页码: 2869-2872 王伟; 周常河 收藏  |  浏览/下载：1058/181  |  提交时间：2010/05/14 光学制造  微透镜阵列  光刻胶热熔法  软刻蚀  压印技术  optical fabrication  microlens array  thermal reflow  soft lithography  imprint technology   Transient thermal and structural deformation and its impact on optical performance of projection optics for extreme ultraviolet lithography 期刊论文  iSwitch采集 Japanese journal of applied physics part 1-regular papers brief communications & review papers, 2007, 卷号: 46, 期号: 10a, 页码: 6568-6572 作者:  Liu, Ke;  Li, Yanqiu;  Zhang, Fuchang;  Fan, Mingzhe 收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2019/05/10 Extreme ultraviolet lithography  Projection optics  Thermal and structural effect  Mirror mount  Thermo-mechanical analysis  Zernike polynomials   Pattern density dependence of thermal deformation of extreme ultraviolet mask and its impact on full field lithography performance 期刊论文  iSwitch采集 Japanese journal of applied physics part 1-regular papers brief communications & review papers, 2007, 卷号: 46, 期号: 8a, 页码: 5104-5111 作者:  Li, Yanqiu;  Zhou, Pengfei;  Fei, Zhang 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2019/05/10 Euvl  Mask  Optics  Thermal deformation  Next generation of lithography