机构

• 上海光学精密机械研究... [4]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [3]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2008 [1]
• 2007 [2]

学科主题

• 光学工程 [1]

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 In situ surface topography measurement method of granite base in scanning wafer stage with laser interferometer 期刊论文  OAI收割 optik, 2008, 卷号: 119, 期号: 1, 页码: 1, 6 He Le; 王向朝; Shi Weijie 收藏  |  浏览/下载：992/151  |  提交时间：2009/09/18 laser interferometer  topography measurement  least squares method  scanning wafer stage  lithographic tool   一种检测光刻机激光干涉仪测量系统非正交性的新方法 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2007, 卷号: 34, 期号: 8, 页码: 1130, 1135 何乐; 王向朝; 马明英; 施伟杰; 王帆 收藏  |  浏览/下载：1050/157  |  提交时间：2009/09/18 测量  measurement  激光干涉仪  interferometer  非正交性  non-orthogonality  光学对准  optic alignment  工件台  wafer stage  光刻机  lithographic tool   一种测量光刻机工件台方镜不平度的新方法 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2007, 卷号: 34, 期号: 4, 页码: 519, 524 何乐; 王向朝; 马明英 收藏  |  浏览/下载：1477/316  |  提交时间：2009/09/18 测量  干涉测量  不平度  方镜  工件台  光刻机  measurement  interferometry  non-flatness  mirror  wafer stage  lithographic tool   基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究 学位论文  OAI收割 作者:  郑亚忠   |  收藏  |  浏览/下载：393/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻机，工件台，位置测量，平面光栅尺  Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder