机构

• 光电技术研究所 [3]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2008 [3]

学科主题

• 微细加工技术 [3]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 学科主题：微细加工技术     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 MEMS可变电容的研究现状及进展 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2008, 卷号: 45, 期号: 5, 页码: 287-292 李玲玉; 童富; 杨月寒; 赵建明; 刘海文 收藏  |  浏览/下载：45/0  |  提交时间：2015/05/18 高隔离度X波段RF MEMS 电容式并联开放室关 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2008, 卷号: 45, 期号: 6, 页码: 342-346 张　理; 姚军; 王大甲 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2015/05/18 基于微悬臂梁的化学传感器的灵敏度研究 期刊论文  OAI收割 传感技术学报, 2008, 卷号: 21, 期号: 8, 页码: 196-197 王大甲; 胡放荣; 姚军; 邱传凯; 王爱娜 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2015/05/18