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浏览/检索结果: 共22条，第1-10条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Investigation of the extinction coefficient of PECVD hydrogenated amorphous silicon nitride films 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2008, 卷号: 18, 期号: 8, 页码: 85001-85001 Yan, X; Feng, F; Yang, GL; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2011/12/17 CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION  THIN-FILMS  PLASMA  ABSORPTION  MIXTURES  MODEL   A Micro Electro Mechanical System Surface Ionization Source for Ion Mobility Spectrometer 期刊论文  OAI收割 SENSOR LETTERS, 2008, 卷号: 6, 期号: 5 Pages, 页码: 970-973 He, XL; Guo, HY; Li, JP; Jia, J; Gao, XG 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2012/05/12 An Ion Mobility Spectrometer with a Micro-hotplate Surface Ionization Source 期刊论文  OAI收割 CHINESE JOURNAL OF ANALYTICAL CHEMISTRY, 2008, 卷号: 36, 期号: 11 Pages, 页码: 1597-1600 Guo, HY; He, XL; Jia, J; Gao, XG; Li, JP 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2012/05/12 A novel surface ionization source for ion mobility spectrometer 期刊论文  OAI收割 ANALYTICA CHIMICA ACTA, 2007, 卷号: 587, 期号: 9 Pages, 页码: 137-141 Guo, HY; He, XL; Gao, XG; Jia, J; Li, JP 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2012/05/12 A comparison of pulsed-laser-deposited and ion-beam-enhanced-deposited AlN thin films for SOI application 期刊论文  OAI收割 MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECHNOLOGY, 2006, 卷号: 133, 期号: 1-3, 页码: 124-128 Men, CL; Lin, CL 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2012/03/24 CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION  EPITAXIAL-GROWTH  ALUMINUM NITRIDE  ELECTRICAL-PROPERTIES  SILICON  INSULATOR  TEMPERATURE  FABRICATION  SI(111)  AIN   Beta-cyclodextrin as carbon source for synthesis of LiFePO4/C with improved electrochemical properties in lithium-ion batteries 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF RARE EARTHS, 2005, 卷号: 23, 页码: 219-223 Lai, CY; Zhao, JC; Xie, JY 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2012/03/24 GAMMA-CYCLODEXTRIN  METAL-COMPLEXES  COPRECIPITATION  IRON   Optical and electrical properties of p-type zinc oxide thin films synthesized by ion beam assisted deposition 期刊论文  OAI收割 THIN SOLID FILMS, 2005, 卷号: 492, 期号: 1-2, 页码: 203-206 Yan, Z; Song, ZT; Liu, WL; Wan, Q; Zhang, FM; Feng, SL 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2012/03/24 CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION  ZNO FILMS  TEMPERATURE   Composition, structure and optical properties of SiC buried layer formed by high dose carbon implantation into Si using metal vapor vacuum arc ion source 期刊论文  OAI收割 THIN SOLID FILMS, 2003, 卷号: 426, 期号: 1-2, 页码: 1-7 Chen, DH; Wong, SP; Yang, SH; Mo, D 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2012/03/24 BEAM SYNTHESIS  SILICON  XPS   Deposition of hydrocarbon molecules on diamond (001) surfaces: atomic scale modeling 期刊论文  OAI收割 SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY, 2002, 卷号: 158, 页码: 94-98 Huang, Z; Pan, ZY; Wang, YX; Du, AJ 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/03/24 CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION  (001)(2X1) SURFACE  DYNAMICS  FILMS  SIMULATIONS  NUCLEATION  GROWTH  JET   Preparation of AlN films by ion-beam-enhanced deposition 期刊论文  OAI收割 CHINESE PHYSICS LETTERS, 2001, 卷号: 18, 期号: 9, 页码: 1282-1284 Men, CL; Xu, Z; Zheng, ZH; Duo, XZ; Zhang, M; Lin, CL 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2012/03/24 CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION  NITRIDE FILMS  TEMPERATURE  ALUMINUM