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机构
上海微系统与信息技术... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
会议论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2006 [2]
学科主题
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浏览/检索结果:
共2条,第1-2条
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曲面保护高量程加速度传感器阻尼特性研究
期刊论文
OAI收割
光电工程, 2006, 期号: 09
杨尊先
;
李昕欣
;
于映
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提交时间:2012/01/06
微/纳机械系统纳米沟道离子束刻蚀
一种新颖的基于离子束刻蚀的纳米沟道制备技术
会议论文
OAI收割
传感技术学报, 2006
史明甫
;
焦继伟
;
包晓清
;
冯飞
;
杨恒
;
李铁
;
王跃林
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提交时间:2012/01/18
微/纳机械系统 纳米沟道 离子束刻蚀