机构

• 光电技术研究所 [10]
• 力学研究所 [7]
• 金属研究所 [4]
• 长春光学精密机械与物... [1]
• 沈阳自动化研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [23]

内容类型

• 期刊论文 [22]
• 会议论文 [1]

发表日期

• 2015 [2]
• 2014 [4]
• 2013 [5]
• 2010 [1]
• 2009 [1]
• 2007 [2]
• 更多

学科主题

• 力学 [2]
• Demodulati... [1]
• Testing [1]
• 固体力学::实验固体... [1]

筛选

浏览/检索结果: 共23条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Moire-Based Interferometry for Magnification Calibration of Bitelecentric Lens System 期刊论文  OAI收割 IEEE PHOTONICS JOURNAL, 2015, 卷号: 7, 期号: 6 作者:  Zhou, Yi;  Zhu, Jiangping;  Deng, Qinyuan;  Liu, Junbo;  Si, Xinchun 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2016/02/03 Moire fringes  magnification  grating marks  phase analysis   Moire-Based Absolute Interferometry With Large Measurement Range in Wafer-Mask Alignment 期刊论文  OAI收割 IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2015, 卷号: 27, 期号: 4 作者:  Di, Chengliang;  Yan, Wei;  Hu, Song;  Yin, Didi;  Ma, Chifei 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2015/07/10 Moire fringes  measurement range  wafer-mask alignment  lithography   Influence of Collimation on Alignment Accuracy in Proximity Lithography 期刊论文  OAI收割 IEEE PHOTONICS JOURNAL, 2014, 卷号: 6, 期号: 4 作者:  Wang, Nan;  Jiang, Wei;  Zhu, Jiangping;  Tang, Yan;  Yan, Wei 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2015/07/10 Collimation  moire fringe  lithography alignment   Collimation Sensing With Differential Grating and Talbot Interferometry 期刊论文  OAI收割 IEEE PHOTONICS JOURNAL, 2014, 卷号: 6, 期号: 3 作者:   收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2015/07/10 Collimation testing  moire fringe  differential grating   Moire interferometry with high alignment resolution in proximity lithographic process 期刊论文  OAI收割 APPLIED OPTICS, 2014, 卷号: 53, 期号: 5, 页码: 951-959 作者:  Zhou, Shaolin;  Hu, Song;  Fu, Yongqi;  Xu, Xiangmin;  Yang, Jun 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2015/07/10 Collimation sensing with differential grating and talbot interferometry 期刊论文  OAI收割 IEEE Photonics Journal, 2014, 卷号: 6, 期号: 3, 页码: 6799212 作者:  Wang, Nan;  Tang, Yan;  Jiang, Wei;  Yan, Wei;  Hu, Song 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2016/11/23 Recent progress in residual stress measurement techniques 期刊论文  OAI收割 Acta Mechanica Solida Sinica, 2013, 卷号: 26, 期号: 6, 页码: 570-583 作者:  Huang XF(黄先富);  Liu ZW;  Xie HM;  Liu Zhanwei 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2014/02/13 residual stress  mechanical release method  hole drilling  moire interferometry  holography  ESPI  digital image correlation   Four-quadrant gratings moire fringe alignment measurement in proximity lithography 期刊论文  OAI收割 OPTICS EXPRESS, 2013, 卷号: 21, 期号: 3, 页码: 3463-3473 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  Yu, Junsheng.;  Zhou, Shaolin;  Tang, Yan 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2015/04/17 Precisely aligned graphene grown on hexagonal boron nitride by catalyst free chemical vapor deposition 期刊论文  OAI收割 SCIENTIFIC REPORTS, 2013, 卷号: 3, 页码: 1-7 作者:  Tang, Shujie;  Wang, Haomin;  Zhang Y(张嵛);  Li, Ang;  Xie, Hong 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2013/10/05 SCANNING-TUNNELING-MICROSCOPY  SINGLE-CRYSTAL GRAPHENE  ZIGZAG EDGES  ELECTRONIC-PROPERTIES  SUSPENDED GRAPHENE  LAYER GRAPHENE  H-BN  TRANSPORT  HETEROSTRUCTURES  SPECTROSCOPY   Single closed fringe pattern phase demodulation in alignment of nanolithography 期刊论文  OAI收割 OPTIK, 2013, 卷号: 124, 期号: 9, 页码: 818-823 作者:  Xu, Feng;  Hu, Song;  Yang, Yong;  Li, Jinlong;  Li, Lanlan 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2015/04/17 Alignment  Closed fringe  Phase demodulation  2-D wavelet ridge