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机构
半导体研究所 [6]
采集方式
OAI收割 [6]
内容类型
学位论文 [6]
发表日期
2016 [1]
2015 [1]
2012 [2]
2011 [2]
学科主题
微电子学 [6]
半导体器件 [1]
筛选
浏览/检索结果:
共6条,第1-6条
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限定条件
学科主题:微电子学
内容类型:学位论文
条数/页:
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便携式MEMS微悬臂梁生物传感器设计及系统集成研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院大学, 2016
王晶晶
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浏览/下载:47/0
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提交时间:2016/06/03
微悬臂梁
生物传感器
闭环谐振器
肝癌早诊
局域修饰
便携式
氮化铝MEMS谐振器关键技术研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2015
杨健
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浏览/下载:65/0
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提交时间:2015/06/02
氮化铝
MEMS
谐振器
有限单元法
压电系数测试
ICP刻蚀
电容式双端固支梁碳化硅MEMS谐振器的研制
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012
康中波
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浏览/下载:33/0
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提交时间:2012/07/09
基于圆盘谐振器的RF MEMS 振荡器振荡电路研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012
郑海洋
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浏览/下载:69/0
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提交时间:2012/06/27
高频高品质因子圆盘型微纳机电谐振器的研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
作者:
解婧
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浏览/下载:44/0
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提交时间:2011/05/31
微纳谐振器表征系统研制及射频谐振器的制作与表征
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
刘云飞
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2011/05/31