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• 上海微系统与信息技术... [1]

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内容类型

• 学位论文 [1]

发表日期

• 2008 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 内容类型：学位论文    发表日期：2008     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 一种电容间隙精确可控的硅硅键合三明治加速度传感器 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2008 毛健 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2012/03/06 电容式加速度传感器  硅硅键合  圆片级真空封装  电容间隙控制