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浏览/检索结果: 共180条，第1-10条 帮助 限定条件 内容类型：期刊论文     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 纳米空间受限气体动理学建模与输运机理 期刊论文  OAI收割 中国科学:物理学 力学 天文学, 2024, 卷号: 54, 期号: 02, 页码: 6-26 作者:  单保超;  王润曦;  张勇豪;  郭照立   |  收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2024/03/01 气体动理学  Boltzmann方程  稠密气体  平均场  空间受限气体   基于MEMS的原位液体TEM芯片的设计与制作 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2018 作者:  焦磊涛   |  收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2019/04/25 140单元MEMS变形镜研制及测试分析 期刊论文  OAI收割 光电工程, 2018, 卷号: 45, 期号: 3, 页码: 170698-1-9 作者:  汪为民;  王强   |  收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2019/08/23 微机电系统  变形镜  自适应光学  静电驱动器   电极化对FBAR应力负载效应影响的分析 期刊论文  OAI收割 压电与声光, 2018, 卷号: 40, 期号: 3, 页码: 366-369 作者:  文数文;  王宇航;  高杨;  张大鹏   |  收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2019/09/24 微机电系统  力学传感器  薄膜体声波谐振器  应力负载效应  电极化效应  解析模型   MEMS固体波动陀螺谐振子现状及发展 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2018, 卷号: 55, 期号: 10, 页码: 738-745 作者:  庄须叶;  江南;  易剑;  张军安;  郭述文   |  收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2018/12/04 微机电系统(Mems)  固体波动陀螺仪  超高q值  单晶金刚石  3d超精密加工   准分子激光微加工应用研究进展 期刊论文  OAI收割 量子电子学报, 2018, 卷号: 035 作者:  何立文;  方晓东   |  收藏  |  浏览/下载：51/0  |  提交时间：2020/11/25 激光技术  准分子激光微加工  集成芯片3D封装  微机电系统材料微加工   新型高频硅基超声雾化器的结构仿真及制作 期刊论文  OAI收割 压电与声光, 2017, 页码: 260-264 作者:  张轲;  苗斌;  丁祥桢;  顾智琦;  潘天龙   |  收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2018/04/09 高频硅基超声雾化器  有限元分析  谐振频率  变幅杆  微机电系统   柱式平板声子晶体点缺陷模式研究 期刊论文  OAI收割 压电与声光, 2017, 页码: 198-201 作者:  黄翔宇;  刘永顺;  舒风风;  武俊峰;  吴一辉   |  收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2018/04/09 声子晶体  柱式平板  点缺陷  选择性激励  工艺加工   金刚石薄膜的制备研究综述 期刊论文  OAI收割 集成技术, 2017 作者:  黄磊;  王陶;  唐永炳   |  收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2018/02/02 毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作 期刊论文  OAI收割 压电与声光, 2016, 期号: 4, 页码: 562-565 作者:  李加东;  张轲   |  收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2017/09/17 力值计量  悬臂梁  弹性系数  微机电系统  绝缘衬底上的硅(Soi)