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上海光学精密机械研究... [7]
采集方式
OAI收割 [7]
内容类型
学位论文 [4]
会议论文 [2]
期刊论文 [1]
发表日期
2016 [1]
2015 [1]
2014 [1]
2012 [1]
2007 [1]
学科主题
光学工程 [2]
筛选
浏览/检索结果:
共7条,第1-7条
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限定条件
专题:上海光学精密机械研究所
第一署名单位
第一作者单位
通讯作者单位
条数/页:
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85
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Research of Absolute Testing based on N-position Rotations
会议论文
OAI收割
作者:
Gao, Wanrong
;
Liu, Huanhuan
;
Liu, Shijie
;
Fang, Qiaoran
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2017/12/25
光刻机工件台方镜面形子孔径拼接干涉测量技术研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者:
李永
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浏览/下载:78/0
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提交时间:2016/11/28
干涉测量
子孔径拼接
误差累积
高反射率平面
45°平面镜
A high accuracy subaperture stitching system for nonflatness measurement of wafer stage mirror
会议论文
OAI收割
conference on optical metrology and inspection for industrial applications iii held as part of spie/cos photonics asia
作者:
Lu, Yunjun
;
Tang, Feng
;
Wang, Xiangzhao
;
Li, Yong
;
Wan, Xiulong
收藏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2016/11/28
大口径平面面形子孔径拼接干涉测量技术研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2012
作者:
徐洋
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浏览/下载:81/0
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提交时间:2016/11/28
干涉测量
光学检测
绝对检验
子孔径拼接
Design and control of an ultraprecision stage used in grating tiling
期刊论文
OAI收割
chinese journal of mechanical engineering (english edition), 2007, 卷号: 20, 期号: 1, 页码: 1, 4
Wang Yong and Liu Zhigang and Bo Feng and朱健强
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浏览/下载:1305/229
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提交时间:2009/09/18
Control
Design
Diffraction gratings
High energy lasers
Mechanisms
Piezoelectric actuators
Stability
Voltage control
星载大气激光雷达光机集成分析的研究
学位论文
OAI收割
作者:
穆永吉
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2018/12/26
激光雷达,光机集成分析,有限元分析,光学设计,Zernike拟合
Lidar, Integrated optomechanical analysis, Finite element analysis, Optical design, Zernike Fitting
光学测量中的二维Gold矩阵方法
学位论文
OAI收割
作者:
李号
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浏览/下载:32/0
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提交时间:2018/12/26
二维Gold矩阵
Two-dimensional Gold matrix
二维绝对式光栅尺
Two-dimensional absolute optical encoder
结构光
Structured light