机构

• 半导体研究所 [3]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2010 [1]
• 2007 [1]
• 2006 [1]

学科主题

• 光电子学 [3]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 学科主题：光电子学     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 An efficient dose-compensation method for proximity effect correction 期刊论文  OAI收割 journal of semiconductors, 2010, 卷号: 31, 期号: 8, 页码: 86001-1-86001-4 作者:  Han Weihua;  Yang Xiang;  Zhang Yang;  Zhang Renping 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2011/08/16 Systematic considerations for the patterning of photonic crystal devices by electron beam lithography 期刊论文  OAI收割 optics communications, 2007, 卷号: 271, 期号: 1, 页码: 241-247 Yu HJ (Yu Hejun); Yu JZ (Yu Jinzhong); Sun F (Sun Fei); Li ZY (Li Zhiyong); Chen SW (Chen Shaowu) 收藏  |  浏览/下载：57/0  |  提交时间：2010/03/29 photonic crystal   An All-E-Beam Lithography Process for the Patterning of 2D Photonic Crystal Waveguide Devices 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2006, 卷号: 27, 期号: 11, 页码: 1894-1899 作者:  Chen Shaowu 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2010/11/23