机构

• 微电子研究所 [4]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [4]

发表日期

• 2018 [3]
• 2017 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Effect of Non-Ionic Surfactant on Chemical Mechanical Planarization Performance in Alkaline Copper Slurry 期刊论文  OAI收割 INTERNATIONAL JOURNAL OF PRECISION ENGINEERING AND MANUFACTURING, 2018 作者:  Chen L(陈岚);  Cao H(曹鹤);  Xu QZ(徐勤志);  Yang F(杨飞)   |  收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2019/04/25 An Oxide Chemical Mechanical Planarization Model for HKMG Structures 期刊论文  OAI收割 ECS Journal of Solid State Science and Technology, 2018 作者:  Sun Y(孙艳);  Liu HW(刘宏伟);  Chen L(陈岚);  Xu QZ(徐勤志);  Yang F(杨飞)   |  收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2019/04/25 Integral Equation Prediction of the Structure of Alternating Copolymer Nanocomposites near a Substrate 期刊论文  OAI收割 Langmuir, 2018 作者:  Chen L(陈岚);  Xu QZ(徐勤志)   |  收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2019/04/25 Influence of slurry components on copper CMP performance in alkaline slurry 期刊论文  OAI收割 Microelectronic Engineering, 2017 作者:  Yang F(杨飞);  Cao H(曹鹤);  Xu QZ(徐勤志);  Chen L(陈岚)   |  收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2018/04/28