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微电子研究所 [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2017 [2]
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共2条,第1-2条
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发表日期:2017
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On the manifestation ofGe Pre-amorphization Implantation (PAI) in forming ultrathin TiSix for Ti direct contact on Si in sub-16/14 nm Complementary Metal-Oxide-Semiconductor (CMOS) technology nodes
期刊论文
OAI收割
ECS Journal of Solid State Science and Technology, 2017
作者:
Wang GL(王桂磊)
;
Li JF(李俊峰)
;
Zhao C(赵超)
;
Ye TC(叶甜春)
;
Chen DP(陈大鹏)
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提交时间:2018/06/08
用于FET的PECVD SiNx掺杂MoS2的有效性与可控性
期刊论文
OAI收割
微纳电子技术, 2017
作者:
罗军
;
贾昆鹏
;
粟雅娟
;
战俊
;
段宁远
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提交时间:2018/07/09