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  • 2017 [2]
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On the manifestation ofGe Pre-amorphization Implantation (PAI) in forming ultrathin TiSix for Ti direct contact on Si in sub-16/14 nm Complementary Metal-Oxide-Semiconductor (CMOS) technology nodes 期刊论文  OAI收割
ECS Journal of Solid State Science and Technology, 2017
作者:  
Wang GL(王桂磊);  Li JF(李俊峰);  Zhao C(赵超);  Ye TC(叶甜春);  Chen DP(陈大鹏)
  |  收藏  |  浏览/下载:42/0  |  提交时间:2018/06/08
用于FET的PECVD SiNx掺杂MoS2的有效性与可控性 期刊论文  OAI收割
微纳电子技术, 2017
作者:  
罗军;  贾昆鹏;  粟雅娟;  战俊;  段宁远
  |  收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2018/07/09