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机构
微电子研究所 [7]
采集方式
OAI收割 [7]
内容类型
外文期刊 [7]
发表日期
2009 [2]
2008 [2]
2007 [1]
2004 [1]
2001 [1]
学科主题
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浏览/检索结果:
共7条,第1-7条
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限定条件
内容类型:外文期刊
条数/页:
5
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Silicon nanocrystals synthesized by electron-beam co-evaporation method and their application for nonvolatile memory
外文期刊
OAI收割
2009
作者:
Jia, R
;
Chen, C
;
Liu, M
;
Li, WL
;
Zhu, CX
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2010/11/26
Energy Ion-beam
Si Nanocrystals
Emission
Density
Devices
Problems on fabrication of computer-generated holograms for testing aspheric surfaces
外文期刊
OAI收割
2009
作者:
Zhu, RH
;
Ma, J
;
He, Y
;
Gao, ZS
;
Zhu, XL
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2010/11/26
Error Analysis
Elements
Design
Design, fabrication, and test of soft x-ray sinusoidal transmission grating
外文期刊
OAI收割
2008
作者:
Zhao, M
;
Zhu, XL
;
Chen, BQ
;
Xie, CQ
;
Liu, M
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2010/11/26
Gate oxide punching thru mechanism in plasma dry etching
外文期刊
OAI收割
2008
作者:
Zhang, QZ
;
Xie, CQ
;
Liu, M
;
Li, B
;
Chen, BQ
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2010/11/26
Analysis by using X-ray photoelectron spectroscopy for polymethyl methacrylate and polytetrafluoroethylene etched by KrF excimer laser
外文期刊
OAI收割
2007
作者:
Zhu, XL
;
Liu, SB
;
Man, BY
;
Xie, CQ
;
Chen, DP
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2010/11/26
Ablation
Irradiation
Characterization of 1.9-and 1.4-nm ultrathin gate oxynitride by oxidation of nitrogen-implanted silicon substrate
外文期刊
OAI收割
2004
作者:
Xu, QX
;
Qian, H
;
Han, ZS
;
Lin, G
;
Liu, M
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2010/11/26
Remote Plasma Nitridation
Oxide
Growth
No
The investigation of key technologies for sub-0.1-mu m CMOS device fabrication
外文期刊
OAI收割
2001
作者:
Xu, QX
;
Qian, H
;
Yin, HX
;
Jia, L
;
Ji, HH
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2010/11/26
p+-polysilicon Gate
Ge Preamorphization
Thin-films
Oxides
Transformation
Suppression
Resistance
Extension
Salicide
Mosfet