中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
首页
机构
成果
学者
登录
注册
登陆
×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
×
校外用户登录
CAS IR Grid
机构
微电子研究所 [20]
采集方式
OAI收割 [20]
内容类型
外文期刊 [17]
期刊论文 [3]
发表日期
2017 [3]
2010 [1]
2009 [4]
2008 [3]
2007 [7]
2006 [2]
更多
学科主题
筛选
浏览/检索结果:
共20条,第1-10条
帮助
限定条件
专题:微电子研究所
第一署名单位
第一作者单位
通讯作者单位
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
提交时间升序
提交时间降序
发表日期升序
发表日期降序
题名升序
题名降序
作者升序
作者降序
Investigation and optimization of Pirani Vacuum Gauges with Monocrystal silicon heaters and heat sinks
期刊论文
OAI收割
Journal of Microelectromechanical Systems, 2017
作者:
Zhang LM(张乐民)
;
Jiao BB(焦斌斌)
;
Yun SC(云世昌)
;
Kong YM(孔延梅)
;
Chen DP(陈大鹏)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:12/0
  |  
提交时间:2018/07/09
A CMOS Compatible MEMS Pirani Vacuum Gauge with Monocrystal Silicon Heaters and Heat Sinks
期刊论文
OAI收割
CHIN.PHYS.LETT, 2017
作者:
Zhang LM(张乐民)
;
Jiao BB(焦斌斌)
;
Yun SC(云世昌)
;
Kong YM(孔延梅)
;
Chen DP(陈大鹏)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:15/0
  |  
提交时间:2018/07/09
An electrical test method for quality detecting of wafer level eutetic bonding
期刊论文
OAI收割
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2017
作者:
Zhang LM(张乐民)
;
Jiao BB(焦斌斌)
;
Kong YM(孔延梅)
;
Yun SC(云世昌)
;
Chen DP(陈大鹏)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:8/0
  |  
提交时间:2018/07/09
Thermopile Infrared Detector with Detectivity Greater Than 10(8) cmHz((1/2))/W
外文期刊
OAI收割
2010
作者:
Xue, CY
;
Wang, KQ
;
Liang, T
;
Jiao, BB
;
Zhang, WD
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:17/0
  |  
提交时间:2010/11/26
Fabrication
Sensors
Optical sensitivity analysis of deformed mirrors for microcantilever array IR imaging
外文期刊
OAI收割
2009
作者:
Cheng, T
;
Mao, L
;
Qian, J
;
Zhang, QC
;
Shi, HT
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:8/0
  |  
提交时间:2010/11/26
Performance
Detectors
Sensors
Device
Optical sensitivity analysis of a bent micro reflector array in uncooled infrared imaging
外文期刊
OAI收割
2009
作者:
Gao, J
;
Zhang, QC
;
Jiao, BB
;
Chen, DP
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:6/0
  |  
提交时间:2010/11/26
Detectors
Stress
Optical readout sensitivity of deformed microreflector for uncooled infrared detector: theoretical model and experimental validation
外文期刊
OAI收割
2009
作者:
Zhang, QC
;
Wu, XP
;
Chen, DP
;
Jiao, BB
;
Cheng, T
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:12/0
  |  
提交时间:2010/11/26
Imaging Device
Performance
Array
Sensors
Design
EFFECT OF REFLECTOR DEFORMATION ON OPTICAL DETECTION SENSITIVITY FOR OPTICAL READOUT INFRARED IMAGING SYSTEM
外文期刊
OAI收割
2009
作者:
Wu, XP
;
Cheng, T
;
Qian, J
;
Shi, HT
;
Chen, DP
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:15/0
  |  
提交时间:2010/11/26
Design
Array
Uncooled infrared imaging device based on optimized optomechanical micro-cantilever array
外文期刊
OAI收割
2008
作者:
Li, CB
;
Dong, FL
;
Zhang, QC
;
Chen, DP
;
Miao, ZY
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:19/0
  |  
提交时间:2010/11/26
Performance
Detectors
Sensors
Design
Uncooled Infrared Imaging Using a Substrate-Free Focal-Plane Array
外文期刊
OAI收割
2008
作者:
Zhang, QC
;
Cheng, T
;
Wu, XP
;
Chen, DP
;
Jiao, BB
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:9/0
  |  
提交时间:2010/11/26
Detectors