机构

• 上海光学精密机械研究... [5]

采集方式

• OAI收割 [5]

内容类型

• 会议论文 [5]

发表日期

• 2016 [2]
• 2014 [1]
• 2013 [2]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 内容类型：会议论文     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Imaging ellipsometer with large field of view 会议论文  OAI收割 作者:  Huang, Huijie;  Hu, Shiyu;  Yuan, Qiao;  Gu, Liyuan;  Cheng, Weilin 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2017/12/25 Imaging ellipsometer with large field of view 会议论文  OAI收割 作者:  Gu, Liyuan;  Huang, Huijie;  He, Hongbo;  Zeng, Aijun;  Hu, Shiyu 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2017/12/25 Illumination system without scanning slit for lithographic tools 会议论文  OAI收割 27th optical microlithography conference as part of the spie advanced lithography symposium 作者:  Zhang, Yunbo;  Zeng, Aijun;  Wang, Ying;  Chen, Mingxing;  Zhang, Shanhua 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/11/28 Design of zoom system for pupil shaping of lithography tool 会议论文  OAI收割 international conference on optical instruments and technology - optical systems and modern optoelectronic instruments 作者:  Fang, Ruifang;  Zeng, Aijun;  Zhang, Shanhua;  Huang, Huijie 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2016/11/28 Design and simulation of illuminator with micro scanning slit array for NA 0.75 lithography system 会议论文  OAI收割 conference on optical microlithography xxvi 作者:  Zhu, Linglin;  Zeng, Aijun;  Zhang, Shanhua;  Fang, Ruifang;  Huang, Huijie 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2016/11/28