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光电技术研究所 [18]
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OAI收割 [18]
内容类型
期刊论文 [15]
学位论文 [3]
发表日期
2018 [1]
2015 [5]
2012 [1]
2011 [3]
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共18条,第1-10条
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专题:光电技术研究所
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140单元MEMS变形镜研制及测试分析
期刊论文
OAI收割
光电工程, 2018, 卷号: 45, 期号: 3, 页码: 170698-1-9
作者:
汪为民
;
王强
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2019/08/23
微机电系统
变形镜
自适应光学
静电驱动器
基于MEMS技术的联合色散器件在微小型光谱仪中的应用研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者:
石振东
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2015/07/29
可调谐 FP 腔
光 栅联合色散调制微小型谱仪机电系统腔
光 栅联合色散调制微小型谱仪机电系统腔
光 栅联合色散调制微小型谱仪机电系统
MEMS静电驱动器的场致电子发射效应研究
期刊论文
OAI收割
半导体光电, 2015, 卷号: 36, 期号: 6, 页码: 925-929+935
作者:
汪为民,王强,邱传凯等
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2016/11/22
MEMS
静电驱动器
场致电子发射
场增强因子
名义发射面积
可靠性
基于静电平行板驱动器的MEMS变形镜特性分析
期刊论文
OAI收割
半导体光电, 2015, 卷号: 36, 期号: 5, 页码: 704-707
作者:
汪为民,王强,邱传凯等
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2016/11/22
MEMS
静电平行板驱动器
变形镜
弹性系数
自组装静电驱动微机电系统倾斜镜(英文)
期刊论文
OAI收割
强激光与粒子束, 2015, 期号: 2, 页码: 146-150
作者:
王强
;
汪为民
;
邱传凯
;
于军胜
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2016/11/22
倾斜镜
微机电系统
静电驱动
自组装
自组装静电驱动微机电系统倾斜镜(英文)
期刊论文
OAI收割
强激光与粒子束, 2015, 期号: 2, 页码: 146-150
作者:
王强,汪为民
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2016/11/22
倾斜镜
微机电系统
静电驱动
自组装
新型静电驱动双向平动MEMS变形镜(英文)
期刊论文
OAI收割
纳米技术与精密工程, 2012, 卷号: 10, 期号: 4, 页码: 313-317
作者:
姚军
;
陶逢刚
;
任豪等
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2016/11/22
双向平动
MEMS
变形镜
杠杆驱动器
大行程MEMS面外驱动器的设计与分析
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
任豪
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浏览/下载:68/0
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提交时间:2014/12/11
微机电系统
静电力
面外驱动器
大行程
表面微加工
杠杆原理
基于静电排斥力的大冲程MEMS变形镜
期刊论文
OAI收割
微纳电子技术, 2011, 卷号: 48, 期号: 4, 页码: 242-247
作者:
陈科帆
;
姚军
;
高福华
;
汪为民
;
倪祖高
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2016/11/22
非正交二维MEMS倾斜镜的研制
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 8, 页码: 1845-1851
作者:
庄须叶
;
汪为民
;
陶逢刚
;
姚军
;
高福华
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2016/11/22