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浏览/检索结果: 共116条，第1-10条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于金硅原电池保护电容加速度计的制作 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2012, 期号: 1, 页码: 133-136 王辉; 吴燕红; 杨恒 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2013/02/22 电容加速度计  金硅原电池  反熔丝  腐蚀自停止   石墨烯的图形化方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN102263013A, 申请日期: 2011-11-30, 公开日期: 2011-11-30 李铁; 王文荣; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：81/0  |  提交时间：2012/01/06 三维立体结构电阻转换存储芯片的制备方法及芯片 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN102064134A, 申请日期: 2011-05-18, 公开日期: 2011-05-18 刘旭焱; 张挺; 刘卫丽; 宋志棠; 杜小峰; 顾怡峰; 成岩 收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2012/01/06 三维掩膜硅各向异性腐蚀工艺释放微悬空结构 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2011, 期号: 05 黄占喜; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2012/04/13 微悬空结构释放  体硅工艺  三维掩膜  各向异性腐蚀  腐蚀模拟   GaN基板上超薄阳极氧化铝的制备 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2011, 期号: 02 王新中; 于广辉; 李世国 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2012/04/13 氮化镓  阳极氧化铝  铝  电化学  超薄   有机溶剂在P型宏多孔硅电化学腐蚀中的应用研究 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2011, 期号: 11 陈平; 焦继伟; 葛道晗; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2012/04/13 多孔硅  微机电系统  有机溶剂  快速腐蚀   Cu上石墨烯的化学气相沉积法生长研究 期刊论文  OAI收割 功能材料与器件学报, 2011, 期号: 05 师小萍; 于广辉; 王斌; 吴渊文 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2012/04/13 石墨烯  化学气相沉积(CVD)  表面处理  拉曼   封装制作晶圆TSV过程中所采用的腐蚀槽和工艺方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN101840856A, 申请日期: 2010-09-22, 公开日期: 2010-09-22 陈骁; 罗乐; 徐高卫; 袁媛 收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2012/01/06 KOH各向异性腐蚀中预处理对硅表面粗糙度的影响 期刊论文  OAI收割 半导体光电, 2010, 期号: 04 夏伟锋; 冯飞; 王权; 熊斌; 戈肖鸿 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2012/01/06 项目管理  科研管理  过程管理  管理信息系统   镁合金系列技术 成果  OAI收割 鉴定: 无, 2010 未知 收藏  |  浏览/下载：52/0  |  提交时间：2013/04/12