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浏览/检索结果: 共30条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 基于湿法预释放结构的MEMS红外光源 专利  OAI收割 专利号: CN201621033986.3, 申请日期: 2017-03-15, 作者:  王玮冰;  陈大鹏;  孙西龙;  刘卫兵;  明安杰   |  收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2018/02/05 纳米孔阵列的制作方法 专利  OAI收割 专利号: CN201210177735.2, 申请日期: 2016-03-30, 公开日期: 2013-12-18 作者:  董立军;  赵超   |  收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2017/06/13 一种电解液间歇循环式金属/空气电池系统 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN201210222298.1, 申请日期: 2014-01-01, 公开日期: 2014-01-15 孙公权; 王二东; 陈利康; 秦兵 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2014/09/25 新型三明治MEMS加速度传感器的设计、制作与测试 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2012 周晓峰 收藏  |  浏览/下载：118/0  |  提交时间：2013/04/24 微电子机械系统  加速度传感器  地震检波器  腐蚀自停止   三明治电容式MEMS加速度传感器真空封装研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2012 蔡梅妮 收藏  |  浏览/下载：145/0  |  提交时间：2013/04/24 MEMS加速度传感器  吸气剂  器件级真空封装  Q  自停止腐蚀   三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2012, 期号: 10, 页码: 790-794+814 蔡梅妮; 车录锋; 林友玲; 周晓峰; 黎晓林; 吴健 收藏  |  浏览/下载：58/0  |  提交时间：2013/02/22 三明治式MEMS加速度计  自停止腐蚀工艺  吸气剂  品质因子  器件级真空封装   用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2012, 期号: 12, 页码: 107-110+113 蔡梅妮; 林友玲; 车录锋; 苏荣涛; 周晓峰; 黎晓林 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2013/02/22 三明治电容式MEMS加速度传感器  自停止腐蚀  品质因数  器件级真空封装  双面划片   微创手术式硅微机械加工(MISSM)技术 期刊论文  OAI收割 传感技术学报, 2012, 期号: 7, 页码: 885-890 王家畴; 刘洁丹; 李昕欣 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2013/02/22 MEMS  MISSM技术  单硅片单面加工  微型释放窗口   基于金硅原电池保护电容加速度计的制作 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2012, 期号: 1, 页码: 133-136 王辉; 吴燕红; 杨恒 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2013/02/22 电容加速度计  金硅原电池  反熔丝  腐蚀自停止   在绝缘层中嵌入纳米晶的半导体材料制备方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN101908472A, 申请日期: 2010-12-08, 公开日期: 2010-12-08 魏星; 王湘; 张苗; 王曦; 林成鲁 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/01/06