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• 上海微系统与信息技术... [6]

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• 会议论文 [6]

发表日期

• 2007 [1]
• 2006 [2]
• 2003 [3]

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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 限定条件 内容类型：会议论文    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 光学读出热成像焦平面阵列的制作技术 会议论文  OAI收割 2007年光电探测与制导技术的发展与应用研讨会, 2007 冯飞; 李珂; 杨广立; 闫许; 熊斌; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2012/01/18 光学读出热成像 红外成像 焦平面阵列 微机械工艺   一种新颖的基于离子束刻蚀的纳米沟道制备技术 会议论文  OAI收割 传感技术学报, 2006 史明甫; 焦继伟; 包晓清; 冯飞; 杨恒; 李铁; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/01/18 微/纳机械系统 纳米沟道 离子束刻蚀   单晶硅纳米梁的分子动力学模拟 会议论文  OAI收割 传感技术学报, 2006 曹共柏; 焦继伟; 陈云飞; 李铁; 杨恒; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2012/01/18 分子动力学 有限元 连续介质近似 谐振频率   感应耦合等离子体(ICP)刻蚀加工工艺生长钝化膜表面的纳米摩擦研究 会议论文  OAI收割 第八届敏感元件与传感器学术会议, 2003 鲍海飞; 熊斌; 戈肖鸿; 王渭源; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2012/01/18 纳米摩擦 钝化膜 深反应离子刻蚀   微机械光读出热成像系统 会议论文  OAI收割 2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会, 2003 冯飞; 焦继伟; 熊斌; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2012/01/18 微机电系统(MEMS) 光读出热成像 焦平面阵列 可动微镜   一种新颖的光调制热成像器件设计 会议论文  OAI收割 第八届敏感元件与传感器学术会议, 2003 冯飞; 熊斌; 焦继伟; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2012/01/18 光调制热成像 微机械 热灵敏度 红外成像