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浏览/检索结果: 共10条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于高次谐波的高功率高稳定13.5 nm极紫外光源 期刊论文  OAI收割 中国激光/Chinese Journal of Lasers, 2024, 卷号: 51, 期号: 07, 页码: 172-179 作者:  李逵;  孟润宇;  李睿晅;  张光银;  姚铭杰   |  收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2024/05/06 激光器  高次谐波  极紫外激光  13.5 nm光源  软X射线  飞秒激光   极紫外光刻含缺陷掩模理论模型的建立和仿真验证 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015 作者:  管文超 收藏  |  浏览/下载：67/0  |  提交时间：2016/11/28 极紫外光刻  掩模衍射场  缺陷  快速仿真计算  米散射   应用于极紫外光刻系统多层膜的研究进展 期刊论文  OAI收割 量子电子学报, 2014, 卷号: 31 作者:  秦娟娟;  董伟伟;  周曙;  游利兵;  方晓东   |  收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2020/11/23 激光技术  极紫外光刻  极紫外多层膜  沉积方法   Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究 期刊论文  OAI收割 物理学报, 2013, 期号: 24, 页码: 219-225 作者:  谢耀 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2014/03/07 极紫外光刻光源  毛细管放电  磁流体力学  Xe等离子体   提高毛细管放电类氖氩46.9nm软X射线激光强度的研究 期刊论文  OAI收割 红外与激光工程, 2013, 期号: 08, 页码: 2036-2040 作者:  谢耀 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2014/03/07 毛细管  软X射线激光  XRD  Rowland谱仪  类氖氩   锡和氙离子在13．5nm波长附近的光谱特性 期刊论文  OAI收割 强激光与粒子束, 2009, 卷号: 021 作者:  敬秋民;  曾思良;  刘晓菊;  王建国   |  收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2020/10/26 极端远紫外光源  多组态Dirac—Fock方法  辐射跃迁波长  辐射跃迁几率   小型高精度软X射线_极紫外反射率计 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2008, 期号: 10 作者:  陈波;  刘世界;  尼启良 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2012/09/25 ECR等离子体的轫致辐射谱和极紫外光研究 学位论文  OAI收割 2008 赵环昱   |  收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2010/01/24 Ecr等离子体   基于强激光辐照固体锡靶产生极紫外光源的实验研究 期刊论文  OAI收割 物理学报, 2008, 卷号: 57, 期号: 8, 页码: 5100, 5104 蔡懿; 王文涛; 杨明; 刘建胜; 陆培祥; 李儒新; 徐至展 收藏  |  浏览/下载：1147/161  |  提交时间：2009/09/18 extreme ultraviolet  conversion efficiency   13.5nm极紫外滤波器的制作方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: ZL200610023269.7, 申请日期: 2007-12-26, 公开日期: 2011-07-14, 2011-07-15 高鸿奕; 干慧菁; 朱化凤; 陈建文 收藏  |  浏览/下载：17/3  |  提交时间：2011/07/14