机构

• 光电技术研究所 [6]

采集方式

• OAI收割 [6]

内容类型

• 期刊论文 [5]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2009 [1]
• 2006 [3]
• 2005 [2]

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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 电子束曝光系统中精密工件台的测量系统 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2009, 卷号: 46, 期号: 4, 页码: 244-249 作者:  严伟;  胡松;  杨勇;  周绍林;  蒋文波 收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2016/11/23 电子束曝光机激光定位精密工件台测量系统研究 学位论文  OAI收割 硕士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2006 乔俊仙 收藏  |  浏览/下载：117/0  |  提交时间：2013/11/19 激光干涉仪  精密工件台  电子束曝光机  误差分析  误差补偿   电子束曝光机传输片机械手研制 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2006, 卷号: 25, 期号: 1, 页码: 13~15 乔俊仙 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2015/05/06 电子束曝光机激光工件台系统研制 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2006, 卷号: 91, 期号: 2, 页码: ~ 乔俊仙 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2015/05/06 电子束曝光机的一种新型精密工件台结构特点及几何精度分析 期刊论文  OAI收割 电子工业专用设备, 2005, 卷号: 34, 期号: 6, 页码: 11-13 乔俊仙; 王肇志; 余国彬 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2015/04/23 电子束曝光机激光工件台测量系统研究 期刊论文  OAI收割 电子工业专用设备, 2005, 卷号: 34, 期号: 10, 页码: 19-23 乔俊仙; 王肇志; 胡松; 余国彬 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2015/04/23