机构

• 上海微系统与信息技术... [5]
• 国家空间科学中心 [1]

采集方式

• OAI收割 [6]

内容类型

• 期刊论文 [4]
• 会议论文 [1]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2019 [1]
• 2003 [4]
• 2002 [1]

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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 太阳系边际探测研究 期刊论文  OAI收割 中国科学. 信息科学, 2019, 卷号: 49, 期号: 1, 页码: 1-16 作者:  吴伟仁;  于登云;  黄江川;  宗秋刚;  王赤   |  收藏  |  浏览/下载：56/0  |  提交时间：2019/06/26 太阳系边际  日球层  恒星际  探测器  太阳风  星际介质  发展路线   微机械悬桥法研究氮化硅薄膜力学性能 期刊论文  OAI收割 功能材料与器件学报, 2003, 期号: 02 宗登刚; 王钻开; 陆德仁; 王聪和; 陈刚 收藏  |  浏览/下载：64/0  |  提交时间：2012/01/06 集成化  纳米探针  硅  纳机电系统   微桥法研究低应力氮化硅力学特性及误差分析 期刊论文  OAI收割 机械强度, 2003, 期号: 04 宗登刚; 王钻开; 陆德仁; 王聪和 收藏  |  浏览/下载：52/0  |  提交时间：2012/01/06 氧氮共注  SIMON  SOI  离子注入   微机械悬桥法研究LPCVD氮化硅薄膜力学性能 会议论文  OAI收割 第八届敏感元件与传感器学术会议, 2003 宗登刚; 王聪和; 王钻开; 鲍海飞; 陆德仁 收藏  |  浏览/下载：46/0  |  提交时间：2012/01/18 微机械 微桥法 LPCVD氮化硅 杨氏模量 残余应力 弯曲强度   微机械材料力学性能测量 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2003 宗登刚   收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2012/03/06 微机械  杨氏模量  弯曲强度  残余应力  剪切模量  微桥  纳米压入     高量程加速度计的力学性能分析 期刊论文  OAI收割 机械强度, 2002, 期号: 04 王钻开; 宗登刚; 陆德仁 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2012/01/06 埋氧层  绝缘体上硅  总剂量辐射效应  模型  背栅