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微电子研究所 [6]
采集方式
OAI收割 [6]
内容类型
期刊论文 [4]
专利 [1]
学位论文 [1]
发表日期
2017 [2]
2016 [2]
2015 [2]
学科主题
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共6条,第1-6条
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基于光敏玻璃的垂直互连通孔仿真与电镀工艺研究
期刊论文
OAI收割
北京理工大学学报, 2017
作者:
王启东
;
林来存
;
曹立强
;
邱德龙
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2018/05/11
基于高Q值玻璃槽电感的优化与验证
期刊论文
OAI收割
电子设计工程, 2017
作者:
林来存
;
曹立强
;
苏华伟
;
李君
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2018/05/11
Deep dry etching of fused silica using C4F8/Ar inductively coupledplasmas
期刊论文
OAI收割
J Mater Sci: Mater Electron, 2016
作者:
Liu FM(刘丰满)
;
Lin LC(林来存)
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2017/04/14
三维玻璃通孔(TGV)关键工艺及无源器件集成研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院大学, 2016
作者:
林来存
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2017/08/28
Investigation of fused silica glass etching using C4F8/Ar inductively coupled plasmas for through glass via(TGV)applications
期刊论文
OAI收割
Microsyst Technol, 2015
作者:
林来存
;
王启东
;
靖向萌
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提交时间:2016/06/02
一种降低激光热效应的玻璃通孔制作方法
专利
OAI收割
申请日期: 2015-01-01,
作者:
林来存
;
刘丰满
;
邱德龙
;
褚衍彪
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2018/02/01