机构

• 电子学研究所 [4]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [3]
• 会议论文 [1]

发表日期

• 2013 [4]

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 An electrostatically-driven and capacitively-sensed differential lateral resonant pressure microsensor 会议论文  OAI收割 2013 8th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS), 中国, 2013 谢波,焦海龙,王军波,陈德勇，陈建 收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2014/04/10 An Electrostatically Driven-Capacitively Sensed Silicon Resonator Based on SOI-MEMS Technology 期刊论文  OAI收割 Nanotechnology and Precision Engineering, 2013, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 447 焦海龙，陈德勇，王军波 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2014/04/14 Electrostatically driven and capacitively detected differential lateral resonant pressure microsensor 期刊论文  OAI收割 Micro & Nano Letters, 2013, 卷号: 8, 期号: 10, 页码: 650 焦海龙，谢波，王军波，陈德勇 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2014/04/14 基于SOI-MEMS工艺的谐振式压力传感器研究 期刊论文  OAI收割 传感技术学报, 2013, 卷号: 26, 期号: 6, 页码: 801 曹明威，陈德勇，王军波，焦海龙，张健 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2014/04/15