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C离子注入Si中Si-C合金的形成及其特征 期刊论文  OAI收割
半导体学报, 2001, 卷号: 2001, 期号: 08, 页码: 979-984
王引书,李晋闽,王玉田,王衍斌,林兰英
  |  收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2010/10/29
预注入对Si_(1-x)C_x合金形成的影响 期刊论文  OAI收割
物理学报, 2001, 卷号: 2001, 期号: 07, 页码: 1329-1333
王引书,李晋闽,王衍斌,王玉田,孙国胜,林兰英
  |  收藏  |  浏览/下载:6/0  |  提交时间:2010/10/29
C离子注入Si中Si-C合金的形成及其特征 期刊论文  OAI收割
半导体学报, 2001, 卷号: 22, 期号: 8, 页码: 979
作者:  
王玉田
收藏  |  浏览/下载:18/0  |  提交时间:2010/11/23
预注入对Si_(1-x)C_x合金形成的影响 期刊论文  OAI收割
物理学报, 2001, 卷号: 50, 期号: 7, 页码: 1329
作者:  
王玉田
收藏  |  浏览/下载:9/0  |  提交时间:2010/11/23