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机构
半导体研究所 [2]
近代物理研究所 [2]
采集方式
OAI收割 [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2001 [4]
学科主题
半导体材料 [2]
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浏览/检索结果:
共4条,第1-4条
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C离子注入Si中Si-C合金的形成及其特征
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2001, 卷号: 2001, 期号: 08, 页码: 979-984
王引书,李晋闽,王玉田,王衍斌,林兰英
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提交时间:2010/10/29
Si1-xcx合金
离子注入
损伤缺陷
应变分布
预注入对Si_(1-x)C_x合金形成的影响
期刊论文
OAI收割
物理学报, 2001, 卷号: 2001, 期号: 07, 页码: 1329-1333
王引书,李晋闽,王衍斌,王玉田,孙国胜,林兰英
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提交时间:2010/10/29
离子注入
固相外延
Si1-xcx合金
C离子注入Si中Si-C合金的形成及其特征
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2001, 卷号: 22, 期号: 8, 页码: 979
作者:
王玉田
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提交时间:2010/11/23
预注入对Si_(1-x)C_x合金形成的影响
期刊论文
OAI收割
物理学报, 2001, 卷号: 50, 期号: 7, 页码: 1329
作者:
王玉田
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提交时间:2010/11/23