机构

• 上海微系统与信息技术... [4]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [4]

发表日期

• 1994 [1]
• 1993 [1]
• 1992 [1]
• 1991 [1]

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 XH－REP－2正性电子束抗蚀剂的工艺研究 期刊论文  OAI收割 应用科学学报, 1994, 期号: 01 王国荃; 罗腾蛟; 王琴美; 吴月莉 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2012/03/29 对一台光栅扫描电子束曝光机制作掩模版质量的分析 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 1993, 期号: 02 王国荃; 罗腾蛟; 陈福余; 徐志如 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2012/03/29 对一台先进电子束曝光机制作掩模过程的分析 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 1992, 期号: 01 王国荃; 罗腾蛟; 陈福余; 徐志如 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/03/29 影响电子束曝光机加工微细化的因素 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 1991, 期号: 02 王国荃; 罗腾蛟; 陈福余; 李忠涛; 徐志如 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2012/03/29