机构

• 物理研究所 [2]
• 微电子研究所 [1]
• 半导体研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [4]

发表日期

• 2018 [1]
• 1990 [1]
• 1988 [2]

学科主题

• 半导体材料 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 Improved Ti germanosilicidation by Ge pre-amorphization implantation (PAI) for advanced contact technologies 期刊论文  OAI收割 Microelectronic Engineering, 2018 作者:  Mao SJ(毛淑娟);  Wang GL(王桂磊);  Xu J(许静);  Zhang D(张丹);  Luo X(罗雪)   |  收藏  |  浏览/下载：56/0  |  提交时间：2019/05/05 TiSixGey  Ge PAI  Si Ge   利用能量过滤成像技术对注氮SOI的研究 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 1990, 卷号: 11, 期号: 9, 页码: 688 段晓峰; 都安彦; 褚一鸣 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2010/11/23 In Ga As/Ga As超晶格的界面研究 期刊论文  OAI收割 电子显微学报, 1988, 期号: 3, 页码: 176 都安彦; 邹进; 冯国光; 侯宏启; 黄琦; 周均铭 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2013/09/17 GaAs/Si外延层的TEM研究 期刊论文  OAI收割 电子显微学报, 1988, 期号: 3, 页码: 175 邹进; 都安彦; 冯国光; 丁爱菊; 侯宏启; 黄琦; 周均铭 收藏  |  浏览/下载：52/0  |  提交时间：2013/09/17