机构

• 上海微系统与信息技术... [4]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [4]

发表日期

• 1998 [3]
• 1997 [1]

学科主题

• Electroche... [1]
• Instrument... [1]
• Physics, A... [1]

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 硅中注H~+的退火行为及智能剥离SOI新材料的微结构分析 期刊论文  OAI收割 固体电子学研究与进展, 1998, 期号: 02 张苗; 林成鲁; 陈立凡; 王鲁闽; K．Gutjahr; U．M．Gosele 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2012/03/29 Gettering of Cu by He-induced cavities in SIMOX materials 期刊论文  OAI收割 NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1998, 卷号: 134, 期号: 3-4, 页码: 360-364 Zhang, M; Wang, LW; Gao, JX; Lin, CL; Hemment, PLF; Gutjahr, K; Gosele, U 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2012/03/25 SILICON-OXIDES  IMPLANTATION  COPPER  BREAKDOWN  NICKEL   Study of Cu gettering to cavities in separation by implantation of oxygen substrates 期刊论文  OAI收割 APPLIED PHYSICS LETTERS, 1998, 卷号: 72, 期号: 7, 页码: 830-832 Zhang, M; Lin, CL; Hemment, PLF; Gutjahr, K; Gosele, U 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/03/25 SILICON-OXIDES  BREAKDOWN  COPPER  NICKEL   Gettering of Cu to voids induced by H+ implantation in SIMOX substrate 期刊论文  OAI收割 PROCEEDINGS OF THE EIGHTH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON SILICON-ON-INSULATOR TECHNOLOGY AND DEVICES, 1997, 卷号: 97, 期号: 23, 页码: 86-91 Zhang,M; Lin,CL; Hemment,PLF; Gutjahr,K; Gosele,U 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2012/03/25