机构

• 光电技术研究所 [9]

采集方式

• OAI收割 [9]

内容类型

• 期刊论文 [6]
• 会议论文 [3]

发表日期

• 2017 [1]
• 2015 [1]
• 2013 [3]
• 2012 [2]
• 2011 [2]

学科主题

• Accelerome... [1]
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浏览/检索结果: 共9条，第1-9条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Dynamic behavior of perforated parallel-plate actuator under squeeze film damping effect 期刊论文  OAI收割 Microsystem Technologies, 2017, 卷号: 23, 期号: 2, 页码: 411-419 作者:  Wang, Weimin;  Tao, Fenggang;  Wang, Qiang;  Qiu, Chuankai;  Chen, Zexiang   |  收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2018/11/20 Accelerometers - Actuators - Damping - Dynamic models - Micromachining - Stiffness - Surface micromachining   Dynamic behavior of perforated parallel-plate actuator under squeeze film damping effect 期刊论文  OAI收割 Microsystem Technologies, 2015 作者:  Wang, Weimin;  Tao, Fenggang;  Wang, Qiang;  Qiu, Chuankai;  Chen, Zexiang 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2016/11/22 A Bi-Directional Out-of-Plane Actuator by Electrostatic Force 期刊论文  OAI收割 MICROMACHINES, 2013, 卷号: 4, 期号: 4, 页码: 431-443 作者:  Ren, Hao;  Wang, Weimin;  Tao, Fenggang;  Yao, Jun 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2015/04/17 MEMS  out-of-plane actuator  electrostatic repulsive force  bi-directional  microfabrication  adaptive optics   A 19 element segmented MEMS deformable mirror based on electrostatic repulsive-force actuator 会议论文  OAI收割 Proceedings of SPIE: MEMS Adaptive Optics VII, 2013 作者:  Wang, Weimin;  Tao, Fenggang;  Wang, Qiang;  Qiu, Chuankai;  Chen, Zexiang 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/11/25 A bi-directional out-of-plane actuator by electrostatic force 期刊论文  OAI收割 Micromachines, 2013, 卷号: 4, 期号: 4, 页码: 431-443 作者:  Ren, Hao;  Wang, Weimin;  Tao, Fenggang;  Yao, Jun 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2016/11/22 MEMS grating with interdigitated-comb structure 会议论文  OAI收割 Key Engineering Materials, 13th Annual Conference of Chinese Society of Micro-Nano Technology XIII, CSMNT 2011, 2012 作者:  Zhang, Heng;  Yao, Jun;  Tao, Fenggang;  Zhuang, Xuye 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2016/11/25 A 19 element hexagonal actuator arrangement continuous face-sheet MEMS deformable mirror 会议论文  OAI收割 Key Engineering Materials, 13th Annual Conference of Chinese Society of Micro-Nano Technology XIII, CSMNT 2011, 2012 作者:  Wang, Weimin;  Tao, Fenggang;  Zhang, Jianfei;  Yao, Jun 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2016/11/25 An out-of-plane electrostatic actuator based on the lever principle 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2011, 卷号: 21, 期号: 4 作者:  Ren, Hao;  Tao, Fenggang;  Wang, Weimin;  Yao, Jun 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2015/09/21 An out-of-plane electrostatic actuator based on the lever principle 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2011, 卷号: 21, 期号: 4, 页码: 45019 作者:  Ren Hao;  Tao Fenggang;  Wang WEimin;  Yao Jun 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2016/11/22