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长春光学精密机械与... [10]
采集方式
OAI收割 [10]
内容类型
期刊论文 [10]
发表日期
2022 [1]
2017 [4]
2016 [3]
2015 [2]
学科主题
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共10条,第1-10条
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Littrow 3D measurement based on 2D grating dual-channel equal-optical path interference
期刊论文
OAI收割
Optics Express, 2022, 卷号: 30, 期号: 23, 页码: 41671-41684
作者:
Y. Yin
;
L. Liu
;
Y. Bai
;
Jirigalantu
;
H. Yu
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提交时间:2023/06/14
New Measuring Method of Diffraction Efficiency for Concave Grating Based on Fourier Optics Principle
期刊论文
OAI收割
Spectroscopy and Spectral Analysis, 2017, 卷号: 37, 期号: 4
作者:
Ma, Z. Y.
;
X. D. Qi
;
X. T. Li
;
Bayanheshig
;
X. F. Yao
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2018/06/13
Design of Ultraviolet High-Resolution Astigmatic Correction Rowland Holographic Grating
期刊论文
OAI收割
Spectroscopy and Spectral Analysis, 2017, 卷号: 37, 期号: 11
作者:
Zhao, X. L.
;
Bayanheshig
;
W. H. Li
;
Y. X. Jiang
;
N. Wu and T. Zhang
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2018/06/13
Two-color heterodyne laser interferometry for long-distance stage measurement with correction of uncertainties in measured optical distances
期刊论文
OAI收割
Scientific Reports, 2017, 卷号: 7
作者:
Liu, Z. W.
;
W. H. Li
;
Bayanheshig
;
X. T. Li
;
S. Jiang
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2018/06/13
Precision measurement of X-axis stage mirror profile in scanning beam interference lithography by three-probe system based on bidirectional integration model
期刊论文
OAI收割
Optics Express, 2017, 卷号: 25, 期号: 9
作者:
Liu, Z. W.
;
S. Jiang
;
X. T. Li
;
Y. Song
;
W. H. Li and Bayanheshig
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浏览/下载:130/0
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提交时间:2018/06/13
Moire alignment algorithm for an aberration-corrected holographic grating exposure system and error analysis
期刊论文
OAI收割
Applied Optics, 2016, 卷号: 55, 期号: 31
作者:
Zhao, X. L.
;
Bayanheshig
;
W. H. Li
;
Y. X. Jiang
;
Y. Song
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提交时间:2017/09/11
Study on the Effects and Compensation Effect of Recording Parameters Error on Imaging Performance of Holographic Grating in On-Line Spectral Diagnose
期刊论文
OAI收割
Spectroscopy and Spectral Analysis, 2016, 卷号: 36, 期号: 3
作者:
Jiang, Y. X.
;
Bayanheshig
;
S. Yang
;
X. L. Zhao
;
N. Wu and W. H. Li
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提交时间:2017/09/11
Measuring method of diffraction efficiency for plane grating based on Fourier spectral technology
期刊论文
OAI收割
Applied Optics, 2016, 卷号: 55, 期号: 3
作者:
Ma, Z. Y.
;
X. D. Qi
;
X. T. Li
;
S. W. Zhang
;
Bayanheshig
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提交时间:2017/09/11
Practical method study on correcting yaw error of 500 mm grating blank carriage in real time
期刊论文
OAI收割
Applied Optics, 2015, 卷号: 54, 期号: 13, 页码: 4084-4088
作者:
Yang, C.
;
X. T. Li
;
H. L. Yu
;
H. Z. Yu
;
J. W. Zhu
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提交时间:2016/07/15
Establishment and experimental verification of the photoresist model considering interface slip between photoresist and concave spherical substrate
期刊论文
OAI收割
Aip Advances, 2015, 卷号: 5, 期号: 7, 页码: 10
作者:
Yang, S.
;
Bayanheshig
;
X. L. Zhao
;
S. Xing
;
Y. X. Jiang
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提交时间:2016/07/15