中国科学院机构知识库网格系统: 检索

浏览/检索结果: 共4条，第1-4条

帮助

条数/页：排序方式：
	基于（111）硅的X轴微陀螺的研究学位论文 OAI收割博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2008 段飞收藏 \| 浏览/下载：17/0 \| 提交时间：2012/03/06 (111)硅　X轴微陀螺　TFLG 　惯性测量单元(IMU) 　对称支承结构
	基于薄膜SOI材料的GaN外延生长应力释放机制期刊论文 OAI收割功能材料与器件学报, 2007, 期号: 04 孙佳胤; 陈静; 王曦; 王建峰; 刘卫; 朱建军; 杨辉收藏 \| 浏览/下载：21/0 \| 提交时间：2012/01/06 微机械陀螺 x轴音叉式陀螺 “8悬臂梁-质量块”结构限制槽 (111)硅晶圆
	偏晶向(111)硅片闪耀光栅的制作期刊论文 OAI收割光子学报, 2004, 期号: 06, 页码: 755-757 作者: 张平; 王淑荣; 吴一辉收藏 \| 浏览/下载：22/0 \| 提交时间：2013/03/11 (111)硅片闪耀光栅体硅技术湿法腐蚀
	偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计期刊论文 OAI收割微细加工技术, 2003, 期号: 04, 页码: 18-21+26 作者: 王淑荣; 吴一辉; 张平收藏 \| 浏览/下载：15/0 \| 提交时间：2013/03/11 (111)硅片闪耀光栅体硅技术微制造 MEMS 湿法腐蚀